合肥晶合集成电路股份有限公司马学力获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利气体喷洒装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223951168U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520067280.1，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型气体喷洒装置及半导体设备是由马学力;贾成设计研发完成，并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体喷洒装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种气体喷洒装置及半导体设备；该气体喷洒装置包括气体喷头、主动调节轴和从动调节轴芯；气体喷头位于工艺腔室的内部，气体喷头的一端具有出气口；主动调节轴位于工艺腔室的外部，沿气体喷头的轴向延伸；主动调节轴靠近工艺腔室的一端具有第一磁性结构；从动调节轴芯位于气体喷头内，沿气体喷头的轴向延伸；从动调节轴芯靠近主动调节轴的一端具有第二磁性结构；其中，从动调节轴芯与主动调节轴磁耦合传动；从动调节轴芯随主动调节轴转动时，从动调节轴芯沿气体喷头的轴向伸缩移动，以调整气体喷头的气体流道的横截面积，从而调节气体喷头的气体流量。本申请有利于在保证工艺腔室的密封性的前提下，实现气体流量的快速调节。
本实用新型气体喷洒装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种气体喷洒装置，其特征在于，位于工艺腔室上；所述气体喷洒装置包括： 气体喷头，位于所述工艺腔室的内部，所述气体喷头背离所述工艺腔室内壁的一端具有出气口； 主动调节轴，位于所述工艺腔室的外部，沿所述气体喷头的轴向延伸；所述主动调节轴靠近所述工艺腔室的一端具有第一磁性结构； 从动调节轴芯，位于所述气体喷头内，沿所述气体喷头的轴向延伸；所述从动调节轴芯靠近所述主动调节轴的一端具有第二磁性结构； 其中，所述从动调节轴芯与所述主动调节轴之间磁耦合传动；所述从动调节轴芯跟随所述主动调节轴转动时，所述从动调节轴芯沿所述气体喷头的轴向伸缩移动，以调节所述气体喷头的气体流道的横截面积。
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