厦门韫茂科技有限公司雷植深获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门韫茂科技有限公司申请的专利一种双腔体结构及其PEALD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223951169U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520389025.9，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种双腔体结构及其PEALD设备是由雷植深;赵茂生;雷志佳;曾慧娇设计研发完成，并于2025-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双腔体结构及其PEALD设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种双腔体结构及其PEALD设备，涉及镀膜设备技术领域。包括外腔体以及安装在所述外腔体内的内腔体；其中，所述内腔体内设置有适于放置晶圆载盘的载台；且所述内腔体适于连接反应源以在所述内腔体内完成镀膜工艺。通过本方案可以提高膜厚均匀性，实现反应区域独立性，提高前驱体利用率，简化维护流程。
本实用新型一种双腔体结构及其PEALD设备在权利要求书中公布了：1.一种双腔体结构，其特征在于，包括外腔体以及安装在所述外腔体内的内腔体；其中，所述内腔体内设置有适于放置晶圆载盘的载台；且所述内腔体适于连接反应源以在所述内腔体内完成镀膜工艺。
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