芜湖天鸟高新技术有限公司徐珊珊获国家专利权
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龙图腾网获悉芜湖天鸟高新技术有限公司申请的专利一种埚托立式沉积反应工装获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223951174U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520353136.4,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型一种埚托立式沉积反应工装是由徐珊珊;孙焕运;耿思慧;许梦;王刚;陶军设计研发完成,并于2025-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种埚托立式沉积反应工装在说明书摘要公布了:本实用新型涉及埚托加工技术领域,且公开了一种埚托立式沉积反应工装,该埚托立式沉积反应工装,包括支撑底座,所述支撑底座的数量为两个,两个所述支撑底座的上表面均开设有多个螺纹孔,多个所述螺纹孔的内部螺纹均安装有间隔圆柱,两个所述支撑底座的相对侧面均安装有螺杆,两个所述螺杆的一端之间螺纹套接有螺纹套筒,两个所述支撑底座的一端均固定连接有插块,两个所述支撑底座的另一端均固定连接有固定块,该工装在使用时竖向放置埚托,工艺气体可沿埚托竖向流通,气体更加流畅,操作方便,产品增重效果明显提升,沉积密度更均匀,缩短沉积时间;同时竖向放置避免产品之间出现挤压变形,提高成品合格率。
本实用新型一种埚托立式沉积反应工装在权利要求书中公布了:1.一种埚托立式沉积反应工装,包括支撑底座1,其特征在于:所述支撑底座1的数量为两个,两个所述支撑底座1的上表面均开设有多个螺纹孔2,多个所述螺纹孔2的内部螺纹均安装有间隔圆柱3,两个所述支撑底座1的相对侧面均安装有螺杆4,两个所述螺杆4的一端之间螺纹套接有螺纹套筒5,两个所述支撑底座1的一端均固定连接有插块6,两个所述支撑底座1的另一端均固定连接有固定块7,两个所述固定块7的表面均开设有与所述插块6相匹配的插槽8。
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