楚赟精工科技(上海)有限公司郑冬获国家专利权
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龙图腾网获悉楚赟精工科技(上海)有限公司申请的专利衬底保持装置及气相生长设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223951175U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520380188.0，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型衬底保持装置及气相生长设备是由郑冬设计研发完成，并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底保持装置及气相生长设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种衬底保持装置及气相生长设备，衬底保持装置包括承载基座。承载基座上表面设有用于承载衬底的凹槽，承载基座的顶部边部为外周突出部，外周突出部的侧壁与底面之间为曲率半径不超过20毫米的弧形面；承载基座内部设置有气道，气道的第一端开口位于凹槽底面，气道的第二端开口从弧形面引出，由于承载基座的顶部边部为外周突出部，当气体流经通过该外周突出部与腔室内壁之间的狭窄区域时，流速加快，局部压力增加，会在弧形面附近产生低压区域，进而在气道中产生显著负压效应，从而将衬底吸附在凹槽底面，增加衬底与凹槽底面的接触力，防止衬底翘曲脱离凹槽底面。
本实用新型衬底保持装置及气相生长设备在权利要求书中公布了：1.一种衬底保持装置，其特征在于，包括承载基座； 所述承载基座上表面设有用于承载衬底的凹槽； 所述承载基座的顶部边部为外周突出部，所述外周突出部的侧壁与底面之间为弧形面，所述弧形面的曲率半径不超过20毫米； 所述承载基座内部设置有气道，所述气道的第一端开口位于所述凹槽底面，所述气道第二端开口从所述弧形面引出。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人楚赟精工科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201210 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路665号三层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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