杭州超然金刚石有限公司余斌获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州超然金刚石有限公司申请的专利一种用于金刚石高速生长的谐振腔获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223951176U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520286704.3，技术领域涉及：C23C16/511；该实用新型一种用于金刚石高速生长的谐振腔是由余斌;余海粟;朱轶方设计研发完成，并于2025-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于金刚石高速生长的谐振腔在说明书摘要公布了：本申请涉及金刚石制造装置领域，尤其涉及一种用于金刚石高速生长的谐振腔，包括第一部件、第二部件、石英罩、以及微波天线；第一部件和第二部件合围形成谐振腔的反应腔室，所述反应腔室内设有沉积平台；石英罩设于第一部件顶部，所述微波天线设于石英罩内，所述石英罩包括两端敞口的筒部，以及设于筒部底部的端板，端板和筒部之间合围形成供微波天线伸入的外空间；其中，所述端板可拆卸地连接在筒部底部，且拆卸方向为沿筒部的轴向；当端板受到次生等离子的刻蚀损伤需要更换时，只需将端板拆卸下来进行更换即可，无需拆卸更换整个石英罩，节约了成本，也方便了操作。
本实用新型一种用于金刚石高速生长的谐振腔在权利要求书中公布了：1.一种用于金刚石高速生长的谐振腔，包括第一部件、第二部件、石英罩、以及微波天线；第一部件和第二部件合围形成谐振腔的反应腔室，所述反应腔室内设有沉积平台；石英罩设于第一部件顶部，所述微波天线设于石英罩内，其特征在于，所述石英罩包括两端敞口的筒部，以及设于筒部底部的端板，端板和筒部之间合围形成供微波天线伸入的外空间；其中，所述端板可拆卸地连接在筒部底部，且拆卸方向为沿筒部的轴向。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州超然金刚石有限公司，其通讯地址为：311402 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区鸿兴路158号2号楼2-117；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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