芯恩(青岛)集成电路有限公司彭杰获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种AFM探针及其检测结构和原子力显微镜获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223955366U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520086782.9,技术领域涉及:G01N5/04;该实用新型一种AFM探针及其检测结构和原子力显微镜是由彭杰设计研发完成,并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种AFM探针及其检测结构和原子力显微镜在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种AFM探针及其检测结构和原子力显微镜,AFM探针检测结构包括:针尖、针柄、第一微质量传感器和第二微质量传感器;针柄包括第一端和第二端,针柄的第一端与针尖固定连接,针柄的第二端与移动结构固定连接,移动结构可控制针尖和针柄构成的AFM探针的移动;第一微质量传感器位于针尖与针柄的第一端连接的位置,第二微质量传感器位于针柄的第二端的位置,第一微质量传感器用于检测针尖的质量变化,第二微质量传感器用于检测AFM探针的质量变化。本实用新型通过在AFM探针内设置微质量传感器,从而可以低成本地实现对AFM探针的磨损、脏污情况进行检测,方法简单,且可以准确定位到AFM探针的异常,有利于提高AFM测量和加工的精度,提高产品良率。
本实用新型一种AFM探针及其检测结构和原子力显微镜在权利要求书中公布了:1.一种AFM探针检测结构,其特征在于,所述AFM探针检测结构包括:第一微质量传感器和第二微质量传感器; 所述第一微质量传感器和所述第二微质量传感器用于检测AFM探针,所述AFM探针包括针尖和针柄,所述针柄包括第一端和第二端,所述针柄的第一端与所述针尖固定连接,所述针柄的第二端与移动结构固定连接,所述移动结构可控制所述针尖和所述针柄构成的AFM探针的移动; 所述第一微质量传感器位于所述针尖与所述针柄的第一端连接的位置,所述第二微质量传感器位于所述针柄的第二端的位置,所述第一微质量传感器用于检测所述针尖的质量变化,所述第二微质量传感器用于检测所述AFM探针的质量变化。
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