深圳中科飞测科技股份有限公司刘健鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223955454U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323039819.2，技术领域涉及：G01N21/88；该实用新型一种检测装置是由刘健鹏;顾玥;张鹏斌;陈鲁设计研发完成，并于2023-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种检测装置在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种检测装置，用于提升小尺寸缺陷的相对亮度，从而提升小尺寸缺陷的检测信噪比。本申请实施例中的检测装置，包括：至少一个检测模块，检测模块包括线型光源，线型光源的出射光线与待检测对象的法线之间成第一角度，第一角度包括60°至90°；沿线型光源的出射光线方向设置的转折棱镜，转折棱镜用于改变线型光源的出射光线方向，使得偏折后的线型光源的出射光线垂直于线型光源的发光面；转折棱镜的出射光线照射至待检测对象时，在待检测对象的表面形成暗场照明，使得检测装置中的成像装置根据暗场照明中待检测对象的散射信息对待检测对象中的缺陷进行检测，其中，待检测对象设置有周期性图形。
本实用新型一种检测装置在权利要求书中公布了：1.一种检测装置，其特征在于，包括： 至少一个检测模块，所述检测模块包括线型光源，所述线型光源的出射光线与待检测对象的法线之间成第一角度，所述第一角度包括60°至90°； 沿所述线型光源的出射光线方向设置的转折棱镜，所述转折棱镜用于改变所述线型光源的出射主光线方向，使得偏折后的线型光源的出射主光线垂直于所述线型光源的发光面； 所述转折棱镜的出射光线照射至所述待检测对象时，在所述待检测对象的表面形成暗场照明，使得所述检测装置中的成像装置根据所述暗场照明中待检测对象的散射信息对所述待检测对象中的缺陷进行检测，其中，所述待检测对象设置有周期性图形。
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