埃频(上海)仪器科技有限公司陈旭涛获国家专利权
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龙图腾网获悉埃频(上海)仪器科技有限公司申请的专利一种用于真空系统的五维调节装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223955866U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520785026.5，技术领域涉及：G02B7/00；该实用新型一种用于真空系统的五维调节装置是由陈旭涛设计研发完成，并于2025-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于真空系统的五维调节装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种用于真空系统的五维调节装置，其包括第一位移模块、第二位移模块、第三位移模块、旋转模块、以及安装法兰，其中第一位移模块可沿第一方向移动，第二位移模块连接至第一位移模块，且可沿第二方向移动，其中第二方向垂直于第一方向，第三位移模块连接至第二位移模块，且可沿第三方向移动，其中第三方向垂直于第一方向及第二方向，旋转模块连接至第三位移模块，且可绕第一方向及第三方向转动，安装法兰包括相互垂直的第一部及第二部，其中第一部垂直第一方向设置，以及第二部连接至旋转模块，其用于安装待调节样品。该五维调节装置可以精确调节样品X轴、Y轴、Z轴方向位移、及面外两个方向的转角，且可适用于真空系统中。
本实用新型一种用于真空系统的五维调节装置在权利要求书中公布了：1.一种用于真空系统的五维调节装置，其特征在于，包括： 第一位移模块，其被配置为可沿第一方向移动； 第二位移模块，其连接至所述第一位移模块，且被配置为可沿第二方向移动，其中所述第二方向垂直于所述第一方向； 第三位移模块，其连接至所述第二位移模块，且被配置为可沿第三方向移动，其中所述第三方向垂直于所述第一方向及第二方向； 旋转模块，其连接至所述第三位移模块，且被配置为可绕第一方向及第三方向转动；以及 安装法兰，其包括相互垂直的第一部及第二部，其中第一部垂直第一方向设置，以及第二部连接至所述旋转模块，所述安装法兰被配置为安装待调节样品。
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