托托科技(苏州)有限公司严振中获国家专利权
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龙图腾网获悉托托科技(苏州)有限公司申请的专利一种共聚焦对准系统及对准设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223955897U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520569500.0，技术领域涉及：G02B27/34；该实用新型一种共聚焦对准系统及对准设备是由严振中;吴阳设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种共聚焦对准系统及对准设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及集成电路制备技术领域，具体是一种共聚焦对准系统及对准设备，共聚焦对准系统包括至少一组对准检测装置；对准检测装置包括光束发射装置、光调制组件和图像采集组件；光束发射装置能够发射红外光束；光调制组件设置在光束发射装置和对准标识之间的投射路径上，光调制组件具有至少两个光学调制件，至少两个光学调制件的反射角度能够基于红外光束的入射角度自动调节；红外光束经至少两个光学调制件的反射后，能够射向基底的对准标识；图像采集组件用于获取基底反射红外光束生成的图像信息；本实用新型无需考虑对准标识位置，并通过设置至少两个光学调制件，消除对准过程中杂散光和背底光的影响，从而提升成像质量。
本实用新型一种共聚焦对准系统及对准设备在权利要求书中公布了：1.一种共聚焦对准系统，应用于基底7检测，所述基底7设置有至少一个对准标识71，其特征在于，所述共聚焦对准系统包括至少一组对准检测装置； 所述对准检测装置包括光束发射装置1、光调制组件3和图像采集组件6；所述光束发射装置1能够发射红外光束； 所述光调制组件3设置在所述光束发射装置1和所述对准标识71之间的投射路径上，所述光调制组件3具有至少两个光学调制件，所述至少两个光学调制件的反射角度能够基于红外光束的入射角度自动调节；所述红外光束经所述至少两个光学调制件的反射后，能够射向所述基底7的对准标识71； 所述图像采集组件6设置于所述红外光束经所述基底7反射的反射路径上，用于获取所述基底7反射所述红外光束生成的图像信息。
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