深圳市四元数半导体有限公司李标获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市四元数半导体有限公司申请的专利一种具有自动除尘功能的曝光机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223955952U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520379970.0,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型一种具有自动除尘功能的曝光机是由李标设计研发完成,并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有自动除尘功能的曝光机在说明书摘要公布了:本实用新型涉及曝光机技术领域,具体涉及一种具有自动除尘功能的曝光机,包括:曝光机机架,所述曝光机机架上依次设置有除尘设备和曝光系统,所述除尘设备和曝光系统之间设置有预留区间用于供操作人员操作。电荷发生器接上高压直流电源的负极,收尘极接电源正极。当电压升高到一定程度时,放电极附近的气体分子被电离,产生大量的电子和正离子,含尘气体经过高压静电场时被电分离,尘粒与负离子结合带上负电后,趋向阳极表面放电而沉积,为了保证曝光板材上的灰尘能够充分的进入到空气中,通过超声发生器的设置,可以在超声音频的震动下,使得灰尘在空气中,这样在静电的作用下,能够将灰尘彻底的吸附到收尘极上。
本实用新型一种具有自动除尘功能的曝光机在权利要求书中公布了:1.一种具有自动除尘功能的曝光机,其特征在于,包括: 曝光机机架1,所述曝光机机架1上依次设置有除尘设备8和曝光系统10,所述除尘设备8和曝光系统10之间设置有预留区间用于供操作人员操作: 传送带一3和传送带二9,所述传送带一3和传送带二9分别设置在所述除尘设备8和所述曝光系统10的底部,所述传送带一3和传送带二9分别用于在不同工序中对材料进行传送; 其中,所述除尘设备8包括设置在内腔中部且向两侧对冲的电荷发生器,以及设置在所述电荷发生器上方的超声发生器,设置在所述除尘设备8内壁两侧的灰尘收集机构。
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