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龙图腾网获悉苏州德睿科仪仪器设备有限公司申请的专利一种VUV平行光源光刻机设备的光照装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223955954U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520596173.8，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种VUV平行光源光刻机设备的光照装置是由邓源;黄俊辉设计研发完成，并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种VUV平行光源光刻机设备的光照装置在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种VUV平行光源光刻机设备的光照装置，基座顶端设有移动机构，移动机构顶端连接设有承载座，承载座的顶端连接设有承载台，承载台的顶部中心处连接设有吸附平台，基座顶端一侧连接设有安装座，安装座的顶端连接设有光照装置，光照装置包括上箱体和下箱体，上箱体内设有电源组件，下箱体内设有灯源组件，下箱体的底部中心处设有照射窗口，灯源组件包括灯管、反光罩和灯管支座，灯管支座的底端与下箱体的下板连接，灯管的两端与其对应的灯管支座上部连接，反光罩置于灯管的上方，且反光罩的两端与灯管支座连接，通过设有光照装置，不经操作简单，同时曝光效果良好，提高了产品的良品率，同时制造成也大大降低。

本实用新型一种VUV平行光源光刻机设备的光照装置在权利要求书中公布了：1.一种VUV平行光源光刻机设备的光照装置，包括基座10，所述基座10顶端设有移动机构20，所述移动机构20与所述基座10滑动连接，所述移动机构20顶端连接设有承载座30，所述承载座30的顶端连接设有承载台40，所述承载台40的顶部中心处连接设有吸附平台50，所述吸附平台50用于放置涂有光刻胶的电路板，其特征在于：所述基座10顶端一侧连接设有安装座60，所述安装座60的顶端连接设有光照装置70，所述光照装置70包括上箱体701和下箱体702，所述上箱体701内设有电源组件，所述下箱体702内设有灯源组件80，所述下箱体702的底部中心处设有照射窗口90，且所述灯源组件80置于所述照射窗口90的正上方，所述灯源组件80包括灯管801、反光罩802和灯管支座803，所述灯管支座803的底端与所述下箱体702的下板连接，所述灯管801的两端与其对应的所述灯管支座803上部连接，所述反光罩802置于所述灯管801的上方，且所述反光罩802的两端与所述灯管支座803连接，所述反光罩802用户控制和引导光线的方向，使得光线聚拢。

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