建业科技电子(惠州)有限公司何建芬获国家专利权
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龙图腾网获悉建业科技电子(惠州)有限公司申请的专利一种LDI曝光机激光模组调节机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223955957U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521197061.1,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型一种LDI曝光机激光模组调节机构是由何建芬;杨晓通;阮春友;赵鹏旭设计研发完成,并于2025-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种LDI曝光机激光模组调节机构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及LDI曝光机技术领域,提出了一种LDI曝光机激光模组调节机构,包括曝光机,所述曝光机的内部设置有输送台,所述曝光机的内部设置有激光灯板,所述曝光机的内部设置有角度调节机构,本实用新型当激光灯板对基板表面进行曝光,遇到表面微小不平整的基板时,工作人员启动电机,使得螺纹套移动带动调节杆在调节槽内部进行,进而使得调节槽与调节杆平齐,此时激光灯板通过控制轴进行转动,通过伸缩柱进行稳定转动,进而调节激光灯板的角度,确保激光照射的平面和基板表面保持一致,补偿基板表面,这样设计达到了激光灯板的角度进行调节的效果,补偿基板表面存在的微小不平整,确保激光照射的平面和基板表面保持一致。
本实用新型一种LDI曝光机激光模组调节机构在权利要求书中公布了:1.一种LDI曝光机激光模组调节机构,其特征在于,包括曝光机1,所述曝光机1的内部设置有输送台2,所述曝光机1的侧面设置有操作面板3,所述曝光机1的内部设置有激光灯板4,所述曝光机1的内部设置有角度调节机构5; 所述角度调节机构5包括电机51,所述电机51的侧面固定连接在曝光机1,所述电机51的输出端固定连接有螺纹杆52,所述螺纹杆52的圆周面螺纹连接有螺纹套53,所述螺纹套53的底部固定连接有调节杆54,所述曝光机1的内壁固定连接有伸缩柱55,所述伸缩柱55的伸缩端转动连接有转动轴56,所述转动轴56的圆周面与激光灯板4的顶部固定连接,所述激光灯板4的侧面开设有调节槽57,所述调节杆54的侧面与调节槽57的内部滑动连接,所述曝光机1的内部转动连接有控制轴58,所述控制轴58的一端与激光灯板4的侧面固定连接。
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