杭州朗迅科技股份有限公司邸维超获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州朗迅科技股份有限公司申请的专利一种用于教学的PVD镀膜实验教仪设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223956176U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520194418.4，技术领域涉及：G09B9/00；该实用新型一种用于教学的PVD镀膜实验教仪设备是由邸维超;李志忠;毛琨煜设计研发完成，并于2025-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于教学的PVD镀膜实验教仪设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种用于教学的PVD镀膜实验教仪设备，包含模拟镀膜区、真实镀膜区、学生操作端、教师操作端及机械臂；模拟镀膜区通过投影组件展示PVD镀膜过程中微观粒子的运动轨迹，真实镀膜区配备PVD镀膜组件以展示真实的薄膜沉积过程；学生操作端与机械臂电连接，实现对晶圆定位与调整，提升学生的参与感和实验操作能力；教师操作端可实时发送任务、调整参数并提问学生，增强教学互动性；此外，设备设有模拟镀膜窗口和真实镀膜窗口，分别展示微观及宏观镀膜过程，并配备安全急停功能确保实验安全；本实用新型通过虚实结合的实验方式，不仅直观展示PVD技术的原理，还提升了教学的沉浸感与效果，适用于教学机构开展相关技术的理论和实践教学。
本实用新型一种用于教学的PVD镀膜实验教仪设备在权利要求书中公布了：1.一种用于教学的PVD镀膜实验教仪设备，其特征在于，包括： 外壳，所述外壳内部前后设有模拟镀膜区和真实镀膜区，所述模拟镀膜区设有投影组件，所述真实镀膜区设有PVD镀膜组件； 机械臂，其设置在所述外壳内部； 模拟镀膜窗口，其设置在所述外壳外部的侧面并指向所述模拟镀膜区，用于微观上观察晶圆的镀膜情况； 真实镀膜窗口，其设置在所述外壳外部的正面并指向所述真实镀膜区，用于宏观上观察晶圆的镀膜情况。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州朗迅科技股份有限公司，其通讯地址为：310053 浙江省杭州市滨江区六和路368号海创基地南楼5F；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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