兰州离子化工科技有限公司马钰元获国家专利权
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龙图腾网获悉兰州离子化工科技有限公司申请的专利一种离子源引出装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223956565U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521091862.X，技术领域涉及：H01J37/09；该实用新型一种离子源引出装置是由马钰元;丁强设计研发完成，并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子源引出装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及离子束镀膜技术领域，公开了一种离子源引出装置，包括高压端法兰、抑制电极、地电极和地级法兰。使用时，通过高压端法兰和地级法兰的设置，将传统离子源引出装置的三层法兰结构改成了两层法兰结构，同时将传统离子源引出装置的电极安装座简化为了若干起连接支撑作用的支撑套，大大降低了零件的加工难度和加工成本，同时在安装过程中，降低了电极的定位难度和提高了安装精准。通过屏蔽环与抑制电极的设置，形成了协同电场控制结构。通过在法兰上分别加工定位台阶，保证了法兰以及其他构件安装的同心度，保证了离子源引出装置的使用效果。解决了传统离子源引出装置存在的抽气速率低，电极间的真空差，容易引起打火现象的问题。
本实用新型一种离子源引出装置在权利要求书中公布了：1.一种离子源引出装置，其特征在于：包括： 高压端法兰2，通过支撑杆1设置在地级法兰9远离抑制电极6的一端，在高压端法兰2与地级法兰9之间设置有绝缘陶瓷环3，且在所述地级法兰9远离高压端法兰2的一端设置有引出真空室10； 抑制电极6，设置在地级法兰9靠近高压端法兰2的一端中部，且与高压端法兰2和地级法兰9均同心设置； 地电极8，通过地电极支撑套7设置在抑制电极6的内侧，且与抑制电极6同心设置； 地级法兰9，设置在高压端法兰2与引出真空室10之间，且在地级法兰9与高压端法兰2之间设置有屏蔽环5。
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