深圳市新凯来工业机器有限公司李馨家获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利晶圆支撑组件及量测设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223968196U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520401480.6,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型晶圆支撑组件及量测设备是由李馨家;何铁芳;张国元设计研发完成,并于2025-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆支撑组件及量测设备在说明书摘要公布了:本申请涉及晶圆量测技术领域,尤其涉及到一种晶圆支撑组件及量测设备。该晶圆支撑组件包括:第一支撑件、第二支撑件和连接件,第一支撑件上设有多个沿第一圆周的周向间隔布置的第一支撑部,第一支撑部用于设置第一晶圆;第二支撑件上设有多个沿第二圆周的周向间隔布置的第二支撑部,第二支撑部用于设置第二晶圆;连接件的一端与第一支撑件和第二支撑件连接,连接件的另一端与机械手连接,机械手带动晶圆支撑组件移动;第一圆周和第二圆周的圆心重合,第一圆周的直径大于第二圆周的直径;第一晶圆的直径大于第二晶圆的直径;重力方向上,第一支撑部高于第二支撑部。不同直径的晶圆设置在具有高度差的不同支撑部上,确保不同规格晶圆保持水平。
本实用新型晶圆支撑组件及量测设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆支撑组件,其特征在于,包括: 第一支撑件,所述第一支撑件上设置有多个第一支撑部,所述多个第一支撑部沿第一圆周的周向间隔布置,所述第一支撑部被构造为放置第一晶圆; 第二支撑件,所述第二支撑件上设置有多个第二支撑部,所述多个第二支撑部沿第二圆周的周向间隔布置,所述第二支撑部被构造为放置第二晶圆; 连接件,所述连接件的一端与所述第一支撑件和所述第二支撑件均连接,所述连接件的另一端被构造为与机械手连接,所述机械手带动所述晶圆支撑组件移动; 其中,所述第一圆周的圆心和所述第二圆周的圆心重合,所述第一圆周的直径大于所述第二圆周的直径,所述第一晶圆的直径大于所述第二晶圆的直径; 在重力方向上,所述第一支撑部高于所述第二支撑部。
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