EMD株式会社;株式会社巴川制纸所江部明宪获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉EMD株式会社;株式会社巴川制纸所申请的专利高频天线及等离子处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113539774B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110367273.X，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权高频天线及等离子处理装置是由江部明宪;津田统;森内英辉设计研发完成，并于2021-04-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本高频天线及等离子处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种即便在用以生成等离子的高频中，亦能有效率地流通大电流的高频天线及使用该高频天线的等离子处理装置。本发明的高频天线11由金属纤维片所构成。本发明的等离子处理装置具备：真空容器21，在壁部211具有开口部213；高频天线11，配置在开口部213，由金属纤维片所构成；以及电介质制的保护板12，以将开口部213气密地封闭的方式，设在与高频天线11相比更靠真空容器21的内部侧。由金属纤维片所构成的高频天线11，由于表面积较由同形状的金属板所构成的高频天线大，因此，相对高频电流的阻抗低。因此，可更有效率地使为了生成等离子而通常使用例如，频率13.56MHz的高频电流，以大电流形式流通。
本发明授权高频天线及等离子处理装置在权利要求书中公布了：1.一种高频天线，其特征在于由以金属纤维所构成的片状物亦即金属纤维片所构成，该金属纤维片具有多孔质构造，在升温时前述金属纤维以缩小前述金属纤维彼此的间隙的方式膨胀，在降温时前述金属纤维以扩张前述间隙的方式收缩。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人EMD株式会社;株式会社巴川制纸所，其通讯地址为：日本滋贺县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励