全椒亚格泰电子新材料科技有限公司;安徽亚格盛电子新材料股份有限公司魏入铎获国家专利权
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龙图腾网获悉全椒亚格泰电子新材料科技有限公司;安徽亚格盛电子新材料股份有限公司申请的专利一种乙硅烷合成提纯工艺微量磷烷检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223977185U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520107207.2，技术领域涉及：G01N30/02；该实用新型一种乙硅烷合成提纯工艺微量磷烷检测装置是由魏入铎;邹来飞;李良成;薛松设计研发完成，并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种乙硅烷合成提纯工艺微量磷烷检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及微量磷烷分析技术领域，具体涉及一种乙硅烷合成提纯工艺微量磷烷检测装置，包括六通阀，所述六通阀上环向依次等距设置有第一接口、第二接口、第三接口、第四接口、第五接口以及第六接口，所述第二接口为载气进气口，所述第五接口为进样口，所述第六接口为放空孔；第一气管，两端分别与第一接口和第四接口连通，所述第一气管上设置有定量管；第二气管，一端与第三接口连通，所述第二器官上设置有色谱柱和DID氦离子化检测器，且色谱柱设置于第三接口和DID氦离子化检测器之间。在对微量磷烷分析时，能很快检出杂质浓度变化，并能够快速测得平衡的稳定状态分析值，并且兼具定量准确、检测限低和分析周期短的优点。
本实用新型一种乙硅烷合成提纯工艺微量磷烷检测装置在权利要求书中公布了：1.一种乙硅烷合成提纯工艺微量磷烷检测装置，包括六通阀100，所述六通阀100上环向依次等距设置有第一接口101、第二接口102、第三接口103、第四接口104、第五接口105以及第六接口106，其特征在于：所述第二接口102为载气进气口，所述第五接口105为进样口，所述第六接口106为放空孔； 第一气管501，两端分别与第一接口101和第四接口104连通，所述第一气管501上设置有定量管201； 第二气管502，一端与第三接口103连通，所述第二气管上设置有色谱柱301和DID氦离子化检测器401，且色谱柱301设置于第三接口103和DID氦离子化检测器401之间。
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