杭州欣俊哲微纳科技有限公司蒋飞伟获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州欣俊哲微纳科技有限公司申请的专利一种曝光设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223977497U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520592466.9,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型一种曝光设备是由蒋飞伟;刘尚军;张港港;王鹏;李兵;余成龙设计研发完成,并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种曝光设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种曝光设备,涉及曝光机技术领域。该曝光设备包括基台、下玻璃及剥离机构,下玻璃设置于基台表面,用于在曝光过程中与曝光材料贴合;剥离机构包括驱动组件及剥离件,驱动组件设置于基台并与剥离件连接,剥离件用于在曝光结束后,在驱动组件的驱动下,由下玻璃的一端向上运动至顶起曝光材料后,在第一水平方向上朝下玻璃的另一端运动,以使曝光材料的至少部分从下玻璃表面剥离。本实用新型提供的曝光设备能够提升曝光加工效率,并避免曝光材料被撕裂。
本实用新型一种曝光设备在权利要求书中公布了:1.一种曝光设备,其特征在于,包括基台110、下玻璃120及剥离机构130,所述下玻璃120设置于所述基台110表面,用于在曝光过程中与曝光材料200贴合;所述剥离机构130包括驱动组件及剥离件131,所述驱动组件设置于所述基台110并与所述剥离件131连接,所述剥离件131用于在曝光结束后,在所述驱动组件的驱动下,由所述下玻璃120的一端向上运动至顶起所述曝光材料200后,在第一水平方向上朝所述下玻璃120的另一端运动,以使所述曝光材料200的至少部分从所述下玻璃120表面剥离。
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