陛通半导体设备(苏州)有限公司陈怡辉获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉陛通半导体设备(苏州)有限公司申请的专利一种高精度往复旋转的半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223978585U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520491939.6，技术领域涉及：H02P8/20；该实用新型一种高精度往复旋转的半导体设备是由陈怡辉;宋维聪;李文涛设计研发完成，并于2025-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高精度往复旋转的半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种高精度往复旋转的半导体设备，包括承载晶圆的载台以及驱动模块；所述驱动模块包括上位机、单片机、步进电机、驱动步进电机旋转的驱动器、用于实时检测步进电机的转子位置的编码器、以及用于在设备断电后检测步进电机的转子是否复位的检测装置；所述编码器设置于步进电机的转子上，驱动器与步进电机电连接；所述单片机与上位机、编码器及驱动器连接，检测装置安装于步进电机的定子上。采用本申请提供的半导体设备，可显著提高工艺均匀性，且可以极大提高操作人员的工作效率，降低其劳动强度，有助于降低设备的使用成本，提高设备产出率。
本实用新型一种高精度往复旋转的半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种高精度往复旋转的半导体设备，其特征在于，所述半导体设备包括承载晶圆的载台，以及驱动模块；所述驱动模块包括上位机、单片机、步进电机、驱动步进电机旋转的驱动器、用于实时检测步进电机的转子位置的编码器、以及用于在设备断电后检测步进电机的转子是否复位的检测装置；所述编码器设置于步进电机的转子上，驱动器与步进电机电连接；所述单片机与上位机、编码器及驱动器连接，检测装置安装于步进电机的定子上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人陛通半导体设备(苏州)有限公司，其通讯地址为：215413 江苏省苏州市太仓市大连东路36号3#1-2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励