苏州芯钛半导体科技有限公司苏勇信获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州芯钛半导体科技有限公司申请的专利晶圆喷淋清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223979036U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520472811.5，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型晶圆喷淋清洗装置是由苏勇信;齐羿;张亮设计研发完成，并于2025-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆喷淋清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工技术领域，涉及一种晶圆喷淋清洗装置。本实用新型的晶圆产品通过进料口进入清洗腔室内，接料机构将晶圆产品进行接料并将晶圆产品转运至旋转机构上，旋转机构带动晶圆产品进行旋转运动，通过清洗设备对晶圆的上表面进行喷淋清洗，可以对晶圆的上表面进行均匀清洗，提高清洗效果。
本实用新型晶圆喷淋清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆喷淋清洗装置，其特征在于，包括： 清洗筒，其内设置有用于清洗晶圆产品的清洗腔室； 挡料架，设置于所述清洗筒一侧，所述挡料架上设置有进料口，所述进料口与所述清洗腔室相连通； 旋转机构，设置于所述清洗腔室内，所述晶圆产品通过进料口放料至旋转机构上，所述旋转机构用于带动晶圆产品进行旋转运动； 接料机构，与所述进料口相对设置，所述接料机构用于对晶圆产品进行接料并将晶圆产品转运至旋转机构上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州芯钛半导体科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴中区甪直镇张庆街1号11幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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