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龙图腾网获悉芯恺半导体设备(徐州)有限责任公司申请的专利一种气体扩散装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223979054U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520322422.4，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型一种气体扩散装置是由钟伟峰;郭强设计研发完成，并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气体扩散装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种气体扩散装置，包括：至少一个气体扩散构件，位于前开式晶圆传送盒和第一门之间，与门框的内侧面固定连接，用于向前开式晶圆传送盒和第一门之间的过渡区域通入吹扫气体；其中，气体扩散构件包括：壳体，其包括相对的顶板和底板；底板与门框的内侧面固定连接；且壳体内具有一容纳空间；进气孔，设置于底板上，与吹扫气体源和容纳空间连通，用于将吹扫气体通入所述容纳空间；多个扰流板组，位于容纳空间内，与顶板和底板固定连接且沿壳体的长度方向间隔设置，用于使吹扫气体在容纳空间内充分扩散；以及多个出气孔，呈矩阵设置于顶板上，与容纳空间连通；且容纳空间内的吹扫气体经出气孔通入过渡区域。

本实用新型一种气体扩散装置在权利要求书中公布了：1.一种气体扩散装置，用于前开式机械接口标准系统；所述前开式机械接口标准系统用于连接工艺设备和前开式晶圆传送盒，且所述前开式机械接口标准系统包括用于固定所述前开式晶圆传送盒的门框101以及用于打开和关闭所述前开式晶圆传送盒的第一门102；其特征在于，所述气体扩散装置包括： 至少一个气体扩散构件200，位于所述前开式晶圆传送盒和所述第一门102之间，与所述门框101的内侧面固定连接，用于向所述前开式晶圆传送盒和所述第一门102之间的过渡区域通入吹扫气体； 其中，所述气体扩散构件200包括： 壳体210，其包括相对的顶板2101和底板2102；所述底板2102与所述门框101的内侧面固定连接；且所述壳体210内具有一容纳空间； 进气孔220，设置于所述底板2102上，与吹扫气体源和所述容纳空间连通，用于将所述吹扫气体通入所述容纳空间； 多个扰流板组230，位于所述容纳空间内，与所述顶板2101和所述底板2102固定连接且沿所述壳体210的长度方向间隔设置，用于使所述吹扫气体在所述容纳空间内充分扩散；以及 多个出气孔240，呈矩阵设置于所述顶板2101上，与所述容纳空间连通；且所述容纳空间内的所述吹扫气体经所述出气孔240通入所述过渡区域。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恺半导体设备(徐州)有限责任公司，其通讯地址为：221100 江苏省徐州市高新技术产业开发区珠江路电子信息产业园3号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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