上海大族富创得科技股份有限公司汤专获国家专利权
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龙图腾网获悉上海大族富创得科技股份有限公司申请的专利一种用于立式炉的晶圆盒传输装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223979056U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520378323.8，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型一种用于立式炉的晶圆盒传输装置是由汤专;张峰;吴沃祖;吴一凡;庞有桃设计研发完成，并于2025-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于立式炉的晶圆盒传输装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种用于立式炉的晶圆盒传输装置，属于晶圆搬运技术领域。针对现有的晶圆搬运装置存在的搬运效率较低且适应性差的问题，本申请提供了一种用于立式炉的晶圆盒传输装置，包括开盒平台和对接端口，开盒平台包括用于承载晶圆盒罩的第一平台，用于承载底板的升降台；对接端口设置有第一开口和第二开口；第一平台底部对应第一通道设置有用于驱动升降台升降的升降机构，升降机构用于驱动升降台相对于第一通道在高度方向上运动。通设置有双开口的对接开口，使得第一开口能够允许天车从上至下放置晶圆盒；同时，设置有第二开口，便于人工或者机械臂从侧面搬运晶圆盒。极大程度的增加了晶圆盒传输装置的适用性；并且开盒平台可以在放置好晶圆盒后，直接进行开盒，在确保洁净度的情况下，提高了晶圆盒传输效率。
本实用新型一种用于立式炉的晶圆盒传输装置在权利要求书中公布了：1.一种用于立式炉的晶圆盒传输装置，所述晶圆盒包括底板和罩设于底板的晶圆盒罩，且所述晶圆盒内承载有晶圆匣，其特征在于，包括： 开盒平台以及罩设于所述开盒平台的对接端口； 所述开盒平台包括用于承载晶圆盒罩的第一平台，用于承载所述底板的升降台，以及设置于所述升降台下方的第一洁净装置； 所述对接端口顶部对应于所述第一平台设置有第一开口，所述对接端口的侧面设置有贯通的第二开口； 所述晶圆盒可通过所述第一开口或所述第二开口传输至所述第一平台； 所述第一平台设有用于容纳所述升降台贯通的第一通道，且所述第一平台底部对应所述第一通道设置有用于驱动所述升降台升降的升降机构，所述升降机构用于驱动所述升降台相对于第一通道在高度方向上运动。
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