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龙图腾网获悉上海大族富创得科技股份有限公司申请的专利一种立式炉的晶圆传输装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223979057U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520378623.6，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型一种立式炉的晶圆传输装置是由汤专;余观水;陈垒;丁光宇;吴一凡设计研发完成，并于2025-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种立式炉的晶圆传输装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种立式炉的晶圆传输装置，属于晶圆传输技术领域。针对立式炉的晶圆传输装置效率较低的问题，本申请提供了一种立式炉的晶圆传输装置，包括设置与壳体与传输口之间的搬运机构，搬运机构包括晶圆抓取机构以及驱动晶圆抓取机构运动的运动组件，运动组件包括第一滑轨、滑块和安装台；滑块背离第一滑轨的一端转动设置有安装台；安装台背离滑块的一侧设置有的二滑轨，且晶圆抓取机构滑动设置于第二滑轨。本申请可以在提升晶圆抓取机构搬运稳定性的基础上，进一步提高晶圆搬运过程中晶圆抓取机构伸缩过程的速率，以及安装台转动过程中的速率，极大提升了搬运机构在晶圆搬运过程中的效率。

本实用新型一种立式炉的晶圆传输装置在权利要求书中公布了：1.一种立式炉的晶圆传输装置，其特征在于，包括壳体； 所述壳体包括用于放置立式炉的第一空间，以及与所述第一空间相对的第一侧壁，所述第一侧壁设置有至少一个传输口；所述第一侧壁的外侧设置有对应所述传输口的承载台，所述承载台用于放置晶圆盒； 所述第一侧壁围绕所述传输口设置的多个存储位；所述存储位用于存放晶圆盒； 所述多个存储位设置有两列，并沿高度方向分布至所述第一侧壁的顶部； 所述第一侧壁的内侧对应所述传输口设置有开盒机构；所述开盒机构用于开启放置于所述传输口的晶圆盒； 所述第一侧壁与所述第一空间之间设置有搬运机构； 所述搬运机构包括晶圆抓取机构以及驱动所述晶圆抓取机构运动的运动组件，用于在所述传输口与所述第一空间之间搬运晶圆； 所述运动组件包括第一滑轨、滑块和安装台； 所述第一滑轨沿竖直方向设置，且所述滑块的一端滑动设置于所述第一滑轨； 所述滑块背离所述第一滑轨的一端转动设置有所述安装台； 所述安装台背离所述滑块的一侧设置有水平方向设置的第二滑轨； 所述晶圆抓取机构设置于所述第二滑轨，并可沿所述第二滑轨方向滑动。

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