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龙图腾网获悉上海大族富创得科技股份有限公司申请的专利一种用于立式炉的晶圆搬运装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223979058U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520378650.3，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型一种用于立式炉的晶圆搬运装置是由倪萌;汤专;张峰;周太君;李宏伟设计研发完成，并于2025-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于立式炉的晶圆搬运装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种用于立式炉的晶圆搬运装置，属于晶圆搬运技术领域。针对现有的晶圆搬运装置存在的搬运效率较低的问题，本申请提供了一种用于立式炉的晶圆搬运装置，包括依次相接的开盒平台、第一搬运机构、中转平台和第二搬运机构。通过开盒平台实现对晶圆盒的快速开盒操作，并且第一搬运机构可以先将晶圆匣搬运至中转平台的至少一个传输通道和多个存储工位上，使得同一批晶圆盒能够快速在开盒平台与中转平台之间流转；并且至少一个传输通道可以持续传输晶圆匣，以便于第二搬运机构在传输通道与立式炉之间快速搬运晶圆片，且多余的晶圆匣可以直接存储在多个存储工位上，简化了搬运流程，提高了搬运效率。

本实用新型一种用于立式炉的晶圆搬运装置在权利要求书中公布了：1.一种用于立式炉的晶圆搬运装置，用于搬运晶圆盒，所述晶圆盒内承载有晶圆匣，所述晶圆匣承载有晶圆片，其特征在于，包括： 依次相接的开盒平台、第一搬运机构、中转平台和第二搬运机构； 所述开盒平台用于承载晶圆盒并执行开盒操作； 所述第一搬运机构用于在所述开盒平台与所述中转平台之间搬运晶圆匣； 所述第二搬运机构用于将所述中转平台中晶圆匣上的晶圆片搬运至所述立式炉进行加工； 所述中转平台设置有贯通的至少一个传输通道，所述传输通道的两侧分别设置有第一开门机构和第二开门机构；所述传输通道用于放置所述晶圆匣，且所述第一开门机构和第二开门机构用于密封所述传输通道； 所述中转平台朝向所述开盒平台的一侧设置有多个存储工位，所述存储工位用于存放所述晶圆匣； 所述晶圆盒包括底板和罩设于底板的晶圆盒罩； 所述开盒平台包括用于承载晶圆盒罩的第一平台，以及用于承载所述底板的升降台； 所述第一平台设置有多个限位块和相对设置锁紧模块，且限位块设置有导向所述升降台的导向面；所述锁紧模块用于夹紧所述第一平台上的所述晶圆盒罩。

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