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龙图腾网获悉中科汇珠(广州)半导体有限公司申请的专利一种晶圆放样装置及晶圆外延生长设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223979063U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520545852.2，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型一种晶圆放样装置及晶圆外延生长设备是由薛龙;郭松波;胡凌峰;杨军伟;宋华平设计研发完成，并于2025-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆放样装置及晶圆外延生长设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种晶圆放样装置及晶圆外延生长设备，晶圆放样装置包括：机械手仓、晶圆放样载台、隔离罩、第一真空泵；晶圆放样载台设于机械手仓的一侧，晶圆放样载台顶部设有晶圆放样仓；隔离罩设于晶圆放样载台的顶部；机械手仓、晶圆放样载台和隔离罩围成放样空间，晶圆放样仓位于放样空间中；隔离罩，第一侧壁上设有放置入口，内部设有吸取件，第二侧壁上设有操作手套；放置入口能够开启或关闭，放置入口开启时，能够将装载有晶圆的晶圆盒放入放样空间中；晶圆盒放入放样空间后放置入口关闭，第一真空泵对放样空间抽真空后，通过操作手套将晶圆盒打开，使用吸取件将晶圆盒内的晶圆吸取并放入晶圆放样仓中。

本实用新型一种晶圆放样装置及晶圆外延生长设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆放样装置，其特征在于，应用于晶圆外延生长设备，包括：机械手仓10、晶圆放样载台20、隔离罩30、第一真空泵301； 所述晶圆放样载台20设于所述机械手仓10的一侧，所述晶圆放样载台20顶部设有晶圆放样仓21，所述晶圆放样仓21用于放置晶圆；所述隔离罩30设于所述晶圆放样载台20的顶部；所述机械手仓10、所述晶圆放样载台20和所述隔离罩30围成放样空间，所述晶圆放样仓21位于所述放样空间中； 所述隔离罩30，第一侧壁35a上设有放置入口31，内部设有吸取件32，第二侧壁上设有操作手套33；所述放置入口31能够开启或关闭，所述放置入口31开启时，能够将装载有晶圆的晶圆盒放入所述放样空间中；所述晶圆盒放入放样空间后所述放置入口31关闭，所述第一真空泵301对所述放样空间抽真空后，通过所述操作手套33将所述晶圆盒打开，使用所述吸取件32将所述晶圆盒内的所述晶圆吸取并放入所述晶圆放样仓21中； 所述机械手仓10中的机械手用于将所述晶圆放样仓21中的晶圆转移至晶圆外延生长设备中的生长腔中。

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