矽品精密工业股份有限公司沈郁轩获国家专利权
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龙图腾网获悉矽品精密工业股份有限公司申请的专利对位装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223979071U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520574606.X，技术领域涉及：H10P72/50；该实用新型对位装置是由沈郁轩;陈亭谖;黄佩绮设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本对位装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种对位装置，用于将多个元件对位至一包含多个晶粒的晶圆上，包括：激光光源；扩束器；以及液晶板，具有多个液晶开关单元，且每一该晶粒与至少一该液晶开关单元对应，并通过开启该液晶开关单元使向该晶粒的一预定设置位置照射的光束通过，以供一该元件对位设于该预定设置位置。由上可知，本申请利用扩束器将激光光源发射的光束扩大后再通过液晶开关单元控制光束以使其射至晶圆上的多个元件预定设置位置以供多个元件同时进行对位设置，以提高对位装置的工作效率并有效提高产能。
本实用新型对位装置在权利要求书中公布了：1.一种对位装置，供多个元件对位至一包含多个尚未切单的晶粒的晶圆上，其特征在于，该对位装置包括： 激光光源； 扩束器，设于该激光光源与该晶圆之间，以接受由该激光光源所发出的光束，并将其范围扩大后朝向该晶圆的方向射出；以及 液晶板，设于该扩束器与该晶圆间并具有多个液晶开关单元，且每一该晶粒与至少一该液晶开关单元对应，并通过开启该液晶开关单元使自该扩束器向对应的该晶粒的一预定设置位置照射的光束通过，以供一该元件对位设于该预定设置位置。
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