株式会社迪思科福士畅之获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利加工装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114083425B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110933942.5，技术领域涉及：B24B37/00；该发明授权加工装置是由福士畅之;久保徹雄设计研发完成，并于2021-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本加工装置在说明书摘要公布了：本发明提供加工装置，其按照不使晶片碎裂的方式以短时间使晶片从保持面离开。使搬送垫所保持的晶片从保持面上升，当晶片的整个下表面从保持面离开时，将空气流量调整阀打开而使空气从保持面喷出。随着通过使搬送单元上升而使保持面与从保持面离开的晶片之间的距离增大，对空气流量调整阀的打开程度进行调整而使空气的流量增加，由此使晶片不碎裂而以短时间从保持面离开。
本发明授权加工装置在权利要求书中公布了：1.一种加工装置，其中， 该加工装置具有： 卡盘工作台，其在保持面上对晶片的下表面进行保持； 加工单元，其对该保持面所保持的晶片的上表面进行加工； 搬送单元，其将该保持面所保持的晶片从该保持面搬出；以及 控制单元， 该卡盘工作台包含： 连通路，其将该保持面与水提供源连通； 分支部，其配置于该连通路； 空气连通路，其将该分支部与空气提供源连通； 水流量调整阀，其配置于该分支部与水提供源之间的该连通路中，对水的流量进行调整；以及 空气流量调整阀，其配置于该空气连通路中，能够对空气的流量进行调整， 该控制单元对如下的情况进行控制： 该搬送单元对该保持面所保持的晶片进行保持； 将该水流量调整阀打开而从保持面朝向晶片的下表面仅喷射水，从而在保持面上形成水膜； 通过从该保持面喷出的水使晶片从该保持面离开，并且使保持着晶片的该搬送单元从该保持面上升； 当晶片的整个下表面从该保持面离开时，将该空气流量调整阀打开而使空气从该保持面喷出；以及 随着通过使该搬送单元上升而使该保持面与从该保持面离开的晶片之间的距离变大，增大该空气流量调整阀的开度而使该空气的流量增多。
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