中国科学院上海硅酸盐研究所苏良碧获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海硅酸盐研究所申请的专利一种氟化物晶体的退火坩埚及退火方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119265710B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310830251.1,技术领域涉及:C30B33/02;该发明授权一种氟化物晶体的退火坩埚及退火方法是由苏良碧;张博;唐飞;钱小波;寇华敏;王静雅;姜大朋;张中晗设计研发完成,并于2023-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氟化物晶体的退火坩埚及退火方法在说明书摘要公布了:本发明属于氟化物晶体退火技术领域,具体涉及一种氟化物晶体的退火坩埚及退火方法,所述退火坩埚包括:外坩埚;设于所述外坩埚内部的内坩埚,所述内坩埚上设有多个通孔,所述内坩埚用于放置所述氟化物晶体和保护料,所述保护料包覆所述氟化物晶体用以防止所述氟化物晶体与所述内坩埚和空气直接接触;所述内坩埚与所述外坩埚之间设有间隙层用以填充碎晶料,其中所述退火坩埚能够选择性地使所述保护料至少部分沿所述通孔向所述间隙层溢出。本发明的外坩埚和具有通孔的内坩埚组合的“双层坩埚”结构,能够在退火过程中为氟化物晶体的膨胀提供缓冲空间,有效地降低晶体轴向与径向温度梯度,产生更加均匀的退火环境,使晶体内部应力得到缓慢释放。
本发明授权一种氟化物晶体的退火坩埚及退火方法在权利要求书中公布了:1.一种氟化物晶体的退火坩埚,其特征在于,包括: 外坩埚; 设于所述外坩埚内部的内坩埚,所述内坩埚上设有多个通孔,所述内坩埚用于放置所述氟化物晶体和氟化物与除氧剂混合料,所述氟化物与除氧剂混合料包覆所述氟化物晶体用以防止所述氟化物晶体与所述内坩埚和空气直接接触; 所述内坩埚与所述外坩埚之间设有间隙层用以填充碎晶料,其中 所述退火坩埚能够选择性地使所述氟化物与除氧剂混合料至少部分沿所述通孔向所述间隙层溢出。
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