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电子科技大学李春获国家专利权

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龙图腾网获悉电子科技大学申请的专利一种基于范德华辅助层的二维异质结洁净转移技术获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119480759B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411609253.9,技术领域涉及:H10P72/70;该发明授权一种基于范德华辅助层的二维异质结洁净转移技术是由李春;文绍锋;兰长勇设计研发完成,并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于范德华辅助层的二维异质结洁净转移技术在说明书摘要公布了:本发明提供了一种基于范德华辅助层的二维异质结洁净转移技术。具体方法为:在载玻片上制备微圆顶型PVCPVC‑MDP,并用PVC‑MDP拾起h‑BN辅助层,随后用PVC‑MDP拾起h‑BN二维异质结,然后释放h‑BN二维异质结至目标衬底,最后移除h‑BN辅助层。该方法中,h‑BN辅助层的引入避免了聚合物和目标异质结的直接接触,从而在源头上避免了聚合物污染,实现了原子级洁净表面的二维异质结转移。

本发明授权一种基于范德华辅助层的二维异质结洁净转移技术在权利要求书中公布了:1.一种基于范德华辅助层的二维异质结洁净转移方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤: S1:使用聚二甲基硅氧烷PDMS制备微圆顶形聚合物MDP,以10:1的质量比将PDMS基剂和固化剂倒入塑料烧杯,充分搅拌后将混合液倒入塑料培养皿中,再放入真空干燥器中进行脱气处理,获得无气泡的液态PDMS混合液; S2:将步骤S1中的液态PMDS分成两份,其中一份于60℃下固化6~8h,获得固态PDMS; S3:从步骤S2中的固态PDMS上取下1cm×1cm的方块放在载玻片上; S4:依次用牙签、镊子和直径5μm的钨针,将步骤S2中的另一份液态PMDS滴在固态PDMS方块中央,于150℃下固化2~3min,获得一个圆顶直径30μm的PDMS-MDP; S5:在固态PDMS方块四周贴上双面胶,随后将聚氯乙烯PVC膜作为粘连层紧密贴合PDMS-MDP形成PVC-MDP; S6:用蓝膜胶带机械剥离法分别将h-BN、MoS2和WSe2纳米片从块状晶体中剥离至SiSiO2衬底1、衬底2和衬底3上,其中h-BN为范德华辅助层,MoS2和WSe2为目标异质结材料,剥离温度为70~90℃,加热时间为1~2min; S7:用步骤S5中的PVC-MDP将SiSiO2衬底1、2和3上的h-BN、MoS2和WSe2纳米片于50~70℃依次拾起,拾起速度大于30μms,随后将h-BNMoS2WSe2于100~150℃缓慢释放至目标衬底,释放速度小于3μms; S8:用步骤S5中的PVC-MDP与底部没有MoS2WSe2的h-BN区域接触,并进行滑动操作去除h-BN辅助层以获得洁净的MoS2WSe2异质结,滑动操作温度为100℃,速度为10μms。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人电子科技大学,其通讯地址为:611731 四川省成都市西源大道2006号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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