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龙图腾网获悉无锡光子芯片联合研究中心申请的专利一种原子力显微系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119555966B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411940448.1，技术领域涉及：G01Q60/24；该发明授权一种原子力显微系统是由吴苡婷;金贤敏;陈锦洪设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种原子力显微系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种原子力显微系统，涉及光学检测领域。本申请提供的原子力显微系统中聚焦透镜结构与悬臂的反光表面构成了倾斜不变逆向反射系统，而将经由不同倾斜角度的悬臂反射出的不同角度反射光束调整为在空间错开且沿相同方向的光束。由此，在检测该反射光束时，相关传感器可以基于反射光束调制后的方向设置，使相关传感器能以稳定的角度接收悬臂反射的光束，降低了传感器的检测难度。此外，为避免结果光束在反射界面与反光表面之间的多次反射影响位置敏感探测器对结果光束的检测结果，本申请提供的原子力显微系统中还设置有抗干扰结构，通过抗干扰结构为结果光束引入额外偏转，保证位置敏感探测器对结果光束的检测精度。

本发明授权一种原子力显微系统在权利要求书中公布了：1.一种原子力显微系统，其特征在于，包括： 光源，用于发射初始光束； 悬臂，具有反光表面，所述悬臂被配置为基于所述悬臂的探针与测量对象之间的作用力而改变倾斜角度；在所述悬臂处于不同倾斜角度时，所述初始光束从所述反光表面处反射出的反射光束的角度不同； 聚焦透镜结构，设置在所述悬臂与所述光源之间，用于将所述初始光束引导到所述反光表面，并将不同角度的反射光束调整为在空间错开且沿相同方向的结果光束，其中，所述结果光束的传播方向与所述初始光束的传播方向平行且相反； 位置敏感探测器，用于检测所述结果光束的位置信息，所述位置信息反映所述悬臂的倾斜角度的变化； 探测器分束器，沿所述结果光束的光路设置在所述位置敏感探测器上游，用于将所述结果光束引入所述位置敏感探测器； 抗干扰结构，倾斜设置所述结果光束的光路上，用于透射所述结果光束，其中，所述抗干扰结构被配置为楔形片，所述楔形片具有相对的楔形表面以及水平表面，所述楔形表面相对于所述水平表面具有楔角，所述结果光束透过所述楔形片而被所述楔形片折射； 干涉传感器，用于同时检测所述初始光束与所述结果光束；以及 楔形补偿片，用于补偿所述楔形片对所述结果光束的偏转，其中，所述楔形补偿片与所述楔形片形态与基材一致的且所述初始光束的夹角与所述抗干扰结构与所述结果光束的夹角一致。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡光子芯片联合研究中心，其通讯地址为：214063 江苏省无锡市滨湖区建筑西路599-5号103-46室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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