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龙图腾网获悉株洲火炬安泰新材料有限公司申请的专利一种半导体靶材检测用装置及其检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119665774B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411849588.8，技术领域涉及：G01B5/08；该发明授权一种半导体靶材检测用装置及其检测方法是由唐智勇;程波设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体靶材检测用装置及其检测方法在说明书摘要公布了：本发明属于靶材生产领域，尤其是一种半导体靶材检测用装置及其检测方法，针对现有采用千分尺、游标卡尺等检测器具进行检测的方式，其一次只能检测一种类型，检测效率低下，频繁的装夹操作容易对靶材造成损伤，使用不够方便的问题，现提出如下方案，包括工作台和靶材，所述工作台的顶部转动设有承载靶材的转动盘，所述转动盘的外壁滑动设有四个伸缩杆，集成了电机、第一电动推杆、第二电动推杆等驱动部件，以及第一接触开关和第二接触开关等检测元件，实现了对半导体靶材的高效自动化检测。通过控制器的统一控制，可以自动完成靶材的定位、旋转、外壁检测、矩形口检测和通孔检测等多个步骤，大大提高了检测效率和准确性。

本发明授权一种半导体靶材检测用装置及其检测方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体靶材检测用装置，其特征在于，包括工作台1和靶材3，所述工作台1的顶部转动设有承载靶材3的转动盘18，所述转动盘18的外壁滑动设有四个伸缩杆19，所述伸缩杆19的顶部固定设有定位杆20，所述工作台1的顶部滑动设有与多个定位杆20配合使用的限位条2，所述工作台1的顶部固定设有第一电动推杆4，所述第一电动推杆4的输出端与限位条2固定连接，用于带动多个定位杆20相互靠近对靶材3定位夹持； 所述工作台1的底部固定设有电机，电机的输出端与转动盘18固定连接，用于带动靶材3旋转； 支撑架9，所述支撑架9固定设在工作台1的顶部，所述支撑架9的顶部固定设有第二电动推杆10，所述第二电动推杆10的输出端贯穿支撑架9的底部并固定设有用于对靶材3外壁检测的止通筒11； 连接架5，所述连接架5固定设在第一电动推杆4的输出端，所述连接架5上活动设有用于对矩形口7检测的第一检测头6，所述连接架5的顶部固设有用于对第一检测头6位置检测的第一接触开关29，用于根据第一检测头6的位置判定矩形口7是否合格； 升降杆13，所述升降杆13活动设置在止通筒11的外侧，并与连接架5传动连接，用于带动升降杆13升降移动，所述升降杆13的输出端活动设有用于对通孔8检测的第二检测头42，所述升降杆13的底部贯穿固定设有用于对第二检测头42检测的第二接触开关44，用于根据第二检测头42的位置判定通孔8是否合格； 控制器14，所述控制器14固定设在支撑架9的顶部，所述控制器14通过导线与电机、第一电动推杆4、第二电动推杆10、第一接触开关29和第二接触开关44连接。

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