成都泰美克晶体技术有限公司柳云鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉成都泰美克晶体技术有限公司申请的专利多频石英晶片制备控制方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119675594B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411827198.0,技术领域涉及:H03B5/32;该发明授权多频石英晶片制备控制方法、装置、设备及存储介质是由柳云鹏;刘永康;郭思琴;李欢;付智林;王传凯;谢科;王先付;雷晗设计研发完成,并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本多频石英晶片制备控制方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明涉及石英晶片制备技术领域,公开了一种多频石英晶片制备控制方法、装置、设备及存储介质,通过提取多频石英晶片制备任务中不同频率子晶片组合需求的多频石英晶片制备子任务,测量原始晶片批次中每个晶片形成若干个子晶片对应位置区域的厚度值,考虑晶片蚀刻加工顺序和蚀刻设备的最佳蚀刻速度,以制备期限为约束,以蚀刻时间为目标,优化求解每个晶片与多频石英晶片制备子任务的分配策略,最后,驱使蚀刻设备根据分配策略执行每个晶片对应的蚀刻动作。由此,本发明通过合理执行晶片分配以及原始晶片和晶片制备过程中的厚度监控,降低了众多因素的结合给制备策略制定带来的制备难度,提高了多频石英晶片的制备效率与成品良率。
本发明授权多频石英晶片制备控制方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种多频石英晶片制备控制方法,其特征在于,包括以下步骤: 获取若干个用户上传的石英晶片频率需求信息,基于所述石英晶片频率需求信息,生成多频石英晶片制备任务; 提取所述多频石英晶片制备任务中具有不同频率子晶片组合需求的若干个多频石英晶片制备子任务;其中,每个多频石英晶片制备子任务包括对应频率子晶片组合的石英晶片需求数量和制备期限时间; 测量所述多频石英晶片制备任务对应的原始晶片批次中每个晶片的晶片区域厚度信息,根据每个晶片的晶片区域厚度信息中形成若干个子晶片对应位置区域的厚度值和晶片蚀刻加工顺序,考虑蚀刻设备的最佳蚀刻速度,以满足每个频率子晶片组合的石英晶片需求数量和制备期限时间为要求,生成原始晶片批次中每个晶片与多频石英晶片制备子任务的分配策略; 将每个晶片的分配策略发送至蚀刻设备,以使所述蚀刻设备在检测到每个晶片时,根据所述晶片对应的多频石英晶片制备子任务的频率子晶片组合需求,重复执行若干次蚀刻动作,直至所述晶片形成若干个子晶片对应位置区域的厚度值满足所述频率子晶片组合需求。
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