武汉芯丰精密科技有限公司万先进获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉芯丰精密科技有限公司申请的专利晶片加工装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119733973B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510091648.2，技术领域涉及：B23K26/53；该发明授权晶片加工装置是由万先进;田鑫;冯旿祥;施展鹏;锁志勇;秦宝宏;边逸军设计研发完成，并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶片加工装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶片加工装置，属于半导体技术领域。晶片加工装置包括载台、激光镜头组件和超声装置，载台用于承放晶锭；激光镜头组件设置于所述载台的上方，用于脉冲扫描所述晶锭并产生裂纹；超声装置设置于所述载台的上方，所述超声装置能够产生横向振动波，所述横向振动波用于沿所述晶锭振动并使所述裂纹沿横向扩展。本发明使激光脉冲在晶锭上形成的裂纹沿横向生长连接，避免裂纹纵向生长，不仅提高改质层生产效率，而且无需密集发射激光脉冲，缩短晶片加工的周期。
本发明授权晶片加工装置在权利要求书中公布了：1.晶片加工装置，其特征在于，包括： 载台1，用于承放晶锭100； 激光镜头组件2，设置于所述载台1的上方，用于脉冲扫描所述晶锭100并产生裂纹； 超声装置3，设置于所述载台1的上方，所述超声装置3能够产生横向振动波，所述横向振动波用于沿所述晶锭100振动并使所述裂纹沿横向扩展； 所述超声装置3包括沿高度方向依次设置的超声波发生器31和振动传递介质32，所述振动传递介质32用于接触晶锭100的表面； 所述振动传递介质32为半液体物质； 所述半液体物质包括凝胶； 或，所述半液体物质包括含水的柔性物理性吸水物，所述含水的柔性物理性吸水物包括含水的棉花、纸、海绵和毛发束中的至少一种。
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