中国科学院上海光学精密机械研究所刘寅飞获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利一种193nm波段紫外激光产生装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119812913B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411771442.6，技术领域涉及：H01S3/10；该发明授权一种193nm波段紫外激光产生装置是由刘寅飞;宋贾俊;彭宇杰;高贯光;沈丽雅;朱君泽;冷雨欣设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种193nm波段紫外激光产生装置在说明书摘要公布了：本发明的一种产生193nm波段紫外激光的装置及方法，包括依次连接的近红外激光驱动单元1、非线性频率变换系统2和紫外激光产生系统3。近红外激光驱动单元为一台高功率皮秒激光器产生波长为1064nm的近红外激光。其通过分束镜后变为两部分，其中一部分倍频后作为第一光参量振荡器OPO1的泵浦光，产生的波长为840nm激光经过四倍频后变为210nm；另一部分直接作为第二光参量振荡器OPO2的泵浦光，产生波长为2380nm的激光。在最后的紫外激光产生系统中，210nm和2380nm的两束激光经过和频过程最终实现193nm波段紫外激光的输出。本发明利用成熟的非线性晶体、非线性频率变换过程，为真空紫外193nm波段固体激光器发展提供了一种新的思路和技术路线。
本发明授权一种193nm波段紫外激光产生装置在权利要求书中公布了：1.一种193nm波段紫外激光产生装置，其特征在于，包括依次连接的近红外激光驱动单元、非线性频率变换系统和紫外激光产生系统，所述近红外激光驱动单元产生波长为λ1的近红外激光，λ1为1064nm；所述非线性频率变换系统，通过分束镜把所述近红外激光分为两路，其中一路通过倍频过程，产生波长为λ2＝532nm的可见激光用于泵浦第一光参量振荡器OPO1，产生波长为λ3＝840nm的激光，再经过四倍频过程，产生波长为λ4＝210nm的激光，另一路通过所述近红外激光直接泵浦第二光参量振荡器OPO2，产生波长为λ5＝2380nm的激光；所述紫外激光产生系统通过和频方式将波长为λ4＝210nm和λ5＝2380nm的两束激光和频产生波长为λ6＝193nm波段紫外激光。
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