株式会社斯库林集团远藤亨获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置以及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119856255B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202380063625.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置以及基板处理方法是由远藤亨;青木陆太设计研发完成，并于2023-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置以及基板处理方法在说明书摘要公布了：基板处理装置100具有：基板保持部20，保持基板W并使基板W旋转；以及混合液供给部50，向通过基板保持部20旋转的基板W供给混合了硫酸以及双氧水的硫酸双氧水混合液。混合液供给部50在第一期间中以第一流量向基板供给硫酸双氧水混合液，在第一期间之后的第二期间中以比第一流量小的第二流量向基板供给硫酸双氧水混合液。在第二期间中硫酸双氧水混合液的硫酸的比例比在第一期间中硫酸双氧水混合液的硫酸的比例小。
本发明授权基板处理装置以及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其中， 具有： 基板保持部，保持基板并使所述基板旋转；以及 混合液供给部，向通过所述基板保持部旋转的所述基板供给混合了硫酸以及双氧水的硫酸双氧水混合液； 所述混合液供给部在第一期间中以第一流量向所述基板供给所述硫酸双氧水混合液，在所述第一期间之后的第二期间中以比所述第一流量小的第二流量向所述基板供给所述硫酸双氧水混合液； 在所述第二期间中所述硫酸双氧水混合液的所述硫酸的比例比在所述第一期间中所述硫酸双氧水混合液的所述硫酸的比例小。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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