株式会社斯库林集团西出基获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置以及颗粒去除方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119895543B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202380066287.5，技术领域涉及：H10P50/60；该发明授权基板处理装置以及颗粒去除方法是由西出基;东克荣;森隆;平田哲也设计研发完成，并于2023-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置以及颗粒去除方法在说明书摘要公布了：基板处理装置100具备基板处理单元10、配管32、过滤器单元140以及泵114。基板处理单元10处理基板W。配管32供处理液流通至基板处理单元10。过滤器单元140配置于配管32。过滤器单元140具有：过滤器141，捕捉处理液中的颗粒。泵114将包含处理液的液体加压从而使该液体通过过滤器141。泵114在基板处理中以处理液相对于过滤器141的压力变成第一压力的方式加压处理液。泵114在非基板处理中以液体相对于过滤器141的压力变成比第一压力还高的第二压力的方式加压液体。
本发明授权基板处理装置以及颗粒去除方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其中，具备： 基板处理单元，用以处理基板； 处理液配管，供处理液流通至所述基板处理单元； 过滤器单元，配置于所述处理液配管，且具有用以捕捉所述处理液中的颗粒的过滤器； 加压部，将包含所述处理液的液体加压从而使所述液体通过所述过滤器；以及 加热部，加热通过所述过滤器的所述液体， 所述加压部能够变更所述液体相对于所述过滤器的压力； 所述加压部在通过所述处理液处理所述基板的基板处理中，以所述处理液相对于配置于所述处理液配管的所述过滤器单元的所述过滤器的压力变成第一压力的方式加压所述处理液； 所述加压部在不通过所述处理液处理所述基板的非基板处理中，以所述液体相对于配置于所述处理液配管的所述过滤器单元的所述过滤器的压力变成比所述第一压力还高的第二压力的方式加压所述液体， 在所述基板处理中，通过配置于所述处理液配管的所述过滤器单元的所述过滤器的所述处理液的温度为第一温度； 所述加热部在所述非基板处理中以通过配置于所述处理液配管的所述过滤器单元的所述过滤器的所述液体的温度变成比所述第一温度还高的第二温度的方式加热所述液体。
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