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龙图腾网获悉中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所申请的专利时空调制氢化物气相外延反应室、设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121046942B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511570210.9，技术领域涉及：C30B25/08；该发明授权时空调制氢化物气相外延反应室、设备及方法是由朱建军;杨文献;龙军华;陆书龙设计研发完成，并于2025-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本时空调制氢化物气相外延反应室、设备及方法在说明书摘要公布了：本发明公开时空调制氢化物气相外延反应室、设备及方法。其中反应室，包括：一个带水冷侧壁，并由法兰限定有腔体的反应室，腔体内部分成上、中、下三个部分；一个金属源反应舟组件，位于反应室腔体的上半部分；一个时空调制反应生长装置，位于反应室腔体的中部；一个加热装置和尾气收集装置，位于反应室腔体的下半部分；一个中心气路装置，位于反应室腔体轴心位置，连接腔体上半部分的金属源反应舟组件和腔体中部的时空调制反应生长装置。本发明通过时间调制和空间调制结合来控制生长时间从而精确控制材料薄层的厚度，增加了生长程序设置的灵活性，实现超薄层和超厚层材料堆叠结构的快速外延生长，满足结构复杂半导体器件的低成本外延生长需求。

本发明授权时空调制氢化物气相外延反应室、设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种时空调制氢化物气相外延反应室，其特征在于，包括： 一个带水冷侧壁，并由法兰限定有腔体的反应室，腔体内部分成上、中、下三个部分； 一个金属源反应舟组件，位于反应室腔体的上半部分，包括时序支撑装置以及若干反应舟，所述时序支撑装置包括若干第一支撑体，任一所述反应舟承载于任一所述第一支撑体上，所述反应舟的第一出口连通中心气路装置； 一个时空调制反应生长装置，位于反应室腔体的中部，所述时空调制反应生长装置包括一个承重顶板，和承重顶板上的加热器，承重顶板分隔反应室上半部分为金属源反应舟组件安装区和邻近承重顶板下方的时空调制反应生长区；一个可以旋转的衬底托盘和衬底托盘的加热器；一个设置在承重顶板和衬底托盘之间的带有空间分离隔板的反应区天花板，所述空间分离隔板将沉积生长反应区分成两个以上独立子空间；一个位于承重顶板和反应区天花板之间的排空通道；一个位于反应区天花板和衬底托盘之间的沉积生长反应区； 一个加热装置和尾气收集装置，位于反应室腔体的下半部分； 一个中心气路装置，位于反应室腔体轴心位置，通过中心气路连接腔体上半部分的金属源反应舟组件和腔体中部的时空调制反应生长装置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，其通讯地址为：215123 江苏省苏州市独墅湖高教区若水路398号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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