苏州佑伦真空设备科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种用于真空蒸镀机的防断型晶振系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121065640B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511630348.3,技术领域涉及:C23C14/24;该发明授权一种用于真空蒸镀机的防断型晶振系统是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于真空蒸镀机的防断型晶振系统在说明书摘要公布了:本发明涉及真空蒸镀机的晶振系统技术领域,具体为一种用于真空蒸镀机的防断型晶振系统,包括第一旋转机构以及安装在其下端外侧的支撑环组件,并且支撑环组件的下方内部连接有待镀膜的载具,所述第一旋转机构内部空腔内套设有第二旋转机构,且第二旋转机构的旋转轴连接有中间转动轴,并且中间转动轴的底端连接有晶振片机构,并且水冷轴的内部设置有用于储存冷却水的水冷夹套,所述水冷夹套的内部安装有调位组件。该用于真空蒸镀机的防断型晶振系统,使得水冷夹套内的冷却水的温度均匀,从而提高水冷夹套内的冷却水的冷却效果,避免真空蒸镀机工作时产生的高温环境导致晶振片本体断裂,避免影响真空蒸镀机对电子专用材料制造。
本发明授权一种用于真空蒸镀机的防断型晶振系统在权利要求书中公布了:1.一种用于真空蒸镀机的防断型晶振系统,包括第一旋转机构1以及安装在其下端外侧的支撑环组件101,并且支撑环组件101的下方内部连接有待镀膜的载具,其特征在于:所述第一旋转机构1内部空腔内套设有第二旋转机构2,且第二旋转机构2的旋转轴连接有中间转动轴201,并且中间转动轴201的底端连接有晶振片机构3,且中间转动轴201的下方外侧套设有位于晶振片机构3上方的水冷轴4,并且水冷轴4的内部设置有用于储存冷却水的水冷夹套401,所述水冷夹套401的内部安装有调位组件,所述水冷夹套401呈圆环形的中空腔室,且调位组件包括安装在水冷夹套401内部的单旋往复丝杆13,且单旋往复丝杆13的上方外侧固定有扇叶本体131,而且扇叶本体131的左侧设置有进水管404,并且进水管404的横向中心线与单旋往复丝杆13的横向中心线不在同一横线上,而且单旋往复丝杆13的外侧螺纹连接有环形板12,并且环形板12的内侧面和外侧面均等间距开槽安装有转动杆121,且转动杆121的外侧安装有摆动板122,转动杆121的一端外侧嵌套连接有涡旋弹簧123,所述水冷夹套401的内部安装有固定杆16,固定杆16的上方对应设置有呈倾斜状的摆动板122,摆动板122通过固定杆16构成往复式摆动结构,所述水冷夹套401的内部等间距安装有换水腔14,且换水腔14的内部贴合连接有活塞组件141,并且活塞组件141的上端与环形板12的底面相连接,且换水腔14的下方内部贯穿安装有喷水管143和吸水管142,而且呈“L”形状的喷水管143的上端贯穿环形板12的内部,且喷水管143的最高点高于环形板12的最高点,所述环形板12的底面等间距安装有储气气囊15,且储气气囊15的底面与水冷夹套401的内部相连接。
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