捷螺智能设备(苏州)有限公司洪成都获国家专利权
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龙图腾网获悉捷螺智能设备(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆多料盘同步夹持搬运机构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121076002B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511631574.3,技术领域涉及:H10P72/76;该发明授权一种晶圆多料盘同步夹持搬运机构是由洪成都;张振义;郭启彬设计研发完成,并于2025-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆多料盘同步夹持搬运机构在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆多料盘同步夹持搬运机构,包括:横梁,其底部开设有呈T型的导向槽;滑动单元,其配置有多组并滑动设置于所述导向槽中,每组所述滑动单元包括两个呈T型的滑块,且两个所述滑块之间通过一个线性驱动器连接;快速连接机构,其包括基座、伸缩柱及连接座,所述基座固定安装于所述滑块底部,所述基座底部固定安装有伸缩柱,所述伸缩柱的伸缩端连接有连接座;夹持机构,其安装于所述连接座的底部并用于夹持晶圆料盘,且所述快速连接机构能够实现所述夹持机构与所述滑块的可拆卸刚性连接;夹持换装站,其设置在横梁底部的一侧并用于存放、校准及更换不同类型的所述夹持机构。
本发明授权一种晶圆多料盘同步夹持搬运机构在权利要求书中公布了:1.一种晶圆多料盘同步夹持搬运机构,其特征在于,包括: 横梁1,其底部开设有呈T型的导向槽11; 滑动单元,其配置有多组并滑动设置于所述导向槽11中,每组所述滑动单元包括两个呈T型的滑块2,且两个所述滑块2之间通过一个线性驱动器21连接; 快速连接机构4,其包括基座41、伸缩柱42及连接座43,所述基座41固定安装于所述滑块2底部,所述基座41底部固定安装有伸缩柱42,所述伸缩柱42的伸缩端连接有连接座43; 夹持机构3,其安装于所述连接座43的底部并用于夹持晶圆料盘,且所述快速连接机构4能够实现所述夹持机构3与所述滑块2的可拆卸刚性连接; 夹持换装站5,其设置在横梁1底部的一侧并用于存放、校准及更换不同类型的所述夹持机构3。
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