全芯智造技术股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉全芯智造技术股份有限公司申请的专利用于辅助图形优化的方法、设备和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121325504B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511870143.2，技术领域涉及：G03F1/70；该发明授权用于辅助图形优化的方法、设备和存储介质是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于辅助图形优化的方法、设备和存储介质在说明书摘要公布了：根据本公开的示例实施例提供了用于辅助图形优化的方法、设备和存储介质。该方法包括获取初始掩模图案，初始掩模图案包括主图形和至少一个初始辅助图形；获取多个候选辅助图形组，多个候选辅助图形组中的一个候选辅助图形组包括与主图形对应的至少一个候选辅助图形；确定多个候选辅助图形组的相应成像成本；以及基于多个候选辅助图形组的相应成像成本，确定用于优化初始掩模图案的至少一个目标辅助图形。以此方式，可以提高掩模图案在不同工艺条件下的成像性能。
本发明授权用于辅助图形优化的方法、设备和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种用于辅助图形优化的方法，其特征在于，包括： 获取初始掩模图案，所述初始掩模图案包括主图形和至少一个初始辅助图形； 获取多个候选辅助图形组，所述多个候选辅助图形组中的每个候选辅助图形组包括与所述主图形对应的至少一个候选辅助图形，其中所述多个候选辅助图形组是基于多组控制参数生成的，所述多组控制参数包括随机生成的多组初始值，并且所述每个候选辅助图形组表示一种不同的辅助图形分布方案； 确定所述多个候选辅助图形组的相应成像成本；以及 基于多个候选辅助图形组的相应成像成本，确定用于优化所述初始掩模图案的至少一个目标辅助图形。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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