买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉无锡金源半导体科技有限公司申请的专利一种半导体设备喷淋头微孔检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121347133B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511902315.X，技术领域涉及：G01M13/00；该发明授权一种半导体设备喷淋头微孔检测设备是由赵旭日;廉杰;耿德会设计研发完成，并于2025-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体设备喷淋头微孔检测设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体设备喷淋头微孔检测设备，属于微孔检测技术领域，包括主体机构，主体机构上设置有用于对半导体喷头上的微孔进行检测的检测机构和用于将待检测的半导体喷头放到检测机构下方的放入机构；本发明设置的放入机构实现了检测与上下料的并行作业，当检测机构对一个喷淋头进行检测时，操作人员可以同步在外部工位取下已检测完成的工件并安装下一个待检测工件，整体检测效率得到大幅提升；本发明设置的检测机构与放置模块的协同运动，一方面，放置模块内的转动电机驱动喷淋头缓慢自转，另一方面，顶动电缸推动吹气管沿径向滑动，这两个运动的结合，使得气嘴能够覆盖喷淋头的整个端面。

本发明授权一种半导体设备喷淋头微孔检测设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备喷淋头微孔检测设备，包括主体机构，其特征在于：所述主体机构包括外壳101，所述主体机构上设置有用于对半导体喷头4上的微孔进行检测的检测机构和用于将待检测的半导体喷头4放到检测机构下方的放入机构； 所述主体机构包括固定安装在外壳101内的内架102，外壳101上设置有两个放置模块，一个放置模块位于外壳101外侧，一个放置模块位于检测机构下方； 所述放入机构包括固定安装在外壳101上的内底架201，内底架201上固定安装有下电缸202，下电缸202的输出端上固定安装有下升降板203，下升降板203上固定安装有中心电机204，中心电机204的电机轴上固定安装有转动架205，转动架205上固定安装有上电缸206，上电缸206的输出端上固定安装有升降块207； 所述放置模块包括固定安装在外壳101上的放置架105，放置架105上放置有对接板106，对接板106下方固定安装有对接销107，放置架105上设置有四个与对接销107匹配的凹槽，对接板106上设置有四个拿取孔112，对接板106上转动安装有转动环108，转动环108上固定安装有自转齿轮109，对接板106下方固定安装有转动电机110，转动电机110的电机轴上固定安装有电机齿轮111，电机齿轮111与自转齿轮109啮合； 所述检测机构包括固定安装在内架102上的升降电缸301，内架102上滑动安装有立柱303，立柱303下方固定安装有升降台302，升降台302与升降电缸301的输出端固定安装，升降台302侧面固定安装有压差计304，压差计304上固定安装有外部接管307和内部接管309，外部接管307上固定安装有环境管306和进气管305，进气管305与外部气源连接，进气管305内设置有两个气道，一个气道与环境管306连通，内部接管309上固定安装有测试软管308，测试软管308与进气管305固定安装，进气管305的另一个气道与测试软管308连通； 所述升降台302上固定安装有固定滑台310，固定滑台310上滑动安装有滑动块315，升降台302上固定安装有滑动电机311，滑动电机311的电机轴上固定安装有电机锥齿轮312，升降台302上转动安装有丝杆313，丝杆313上固定安装有丝杆锥齿轮314，丝杆锥齿轮314与电机锥齿轮312啮合，滑动块315与丝杆313形成螺纹传动，升降台302下方固定安装有固定框319，固定框319内固定安装有五个内块320，内块320上固定安装有五分块318，五分块318下方设置有五个连接口，五分块318与滑动块315固定安装，内块320内滑动安装有端部滑块322，端部滑块322与内块320之间设置有滑块弹簧323，端部滑块322上固定安装有吹气管324，吹气管324与五分块318的五个连接口通过端部软管321连通，吹气管324下方固定安装有气嘴326。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡金源半导体科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市滨湖区胡埭镇孟村路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。