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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利高深宽比无锚柱石英微半球谐振子成型方法及其真空吸附工装获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121361953B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511945329.X，技术领域涉及：C03B23/035；该发明授权高深宽比无锚柱石英微半球谐振子成型方法及其真空吸附工装是由李海兵;刘作娇;毛伊荣;刘建军;徐天柱;罗镇远;蔡俊杰;程鑫;田云先设计研发完成，并于2025-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本高深宽比无锚柱石英微半球谐振子成型方法及其真空吸附工装在说明书摘要公布了：一种高深宽比无锚柱石英微半球谐振子成型方法及其真空吸附工装，该方法旨在解决传统热成型技术难以制备口径小、深度大、且无结构缺陷的微半球谐振子的难题，将石英玻璃预制坯固定于内部设有真空腔室的真空吸附工装上，该工装的成型为预设曲率高陡度内凹光学曲面；启动工装旋转并开启真空系统，利用火焰喷枪加热；当石英玻璃软化后，依靠其自身表面张力流变，同时由真空吸附力提供吸附载荷，共同促使材料均匀地流向所述成型曲面，从而成型出壁厚均匀、无中心锚柱的高深宽比微半球预制体。本发明所制备的谐振子具有轴对称性好、机械品质因数高、内在应力低的显著优势，特别适用于高性能惯性导航与精密传感领域。

本发明授权高深宽比无锚柱石英微半球谐振子成型方法及其真空吸附工装在权利要求书中公布了：1.一种高深宽比无锚柱石英微半球谐振子成型方法，其特征在于，包括以下步骤： 1提供一石英玻璃预制坯，并将其固定于真空吸附工装的成型端面上，所述成型端面为带有台阶限位的光滑圆环平面，该圆环平面中心设有作为成型面的高陡度内凹光学曲面； 2启动真空系统，提供初始真空度P1，通过设置在所述真空吸附工装内部的真空腔室及与真空腔室连通的、开设于所述成型面上的微孔阵列44，施加第一真空吸附力F1，将所述石英玻璃预制坯吸附固定于所述成型端面上； 3使所述真空吸附工装带动所述石英玻璃预制坯绕其中心轴旋转，同时采用火焰喷枪对所述石英玻璃预制坯进行加热，直至所述石英玻璃达到软化温度并具有流变性； 4将所述真空系统提供的真空度提升至高于所述初始真空度P1的第二真空度P2，以通过所述微孔阵列44施加第二真空吸附力F2，同时，利用软化后的石英玻璃自身的表面张力Fsur，通过所述第二真空吸附力F2与所述表面张力Fsur形成协同作用，其中，所述第二真空吸附力F2的方向指向所述成型面，用于对抗由表面张力Fsur引起的材料向内收缩趋势，并引导所述软化后的石英玻璃材料沿所述成型面的轮廓进行流变，直至完全贴合，从而形成无中心锚柱的一体式微半球球壳预制体； 5停止加热，保持所述真空吸附工装的旋转状态并维持所述第二真空吸附力F2，使所述微半球球壳预制体冷却定型； 6将定型后的微半球球壳预制体从所述工装上取下，进行边缘切割和表面抛光处理，得到高深宽比石英玻璃微半球谐振子。

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