盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司李宝石获国家专利权
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龙图腾网获悉盛吉盛半导体科技(无锡)有限公司申请的专利一种磁极机构以及磁控溅射装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121394280B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511971446.3，技术领域涉及：H01J37/34；该发明授权一种磁极机构以及磁控溅射装置是由李宝石设计研发完成，并于2025-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁极机构以及磁控溅射装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种磁极机构以及磁控溅射装置，涉及半导体技术领域。该磁极机构包括基台、驱动组件、转动杆、芯轴、安装圆板、传动组件和活动磁块。转动杆可转动地安装于基台，且穿过基台设置，转动杆的一端与驱动组件连接，另一端与安装圆板连接，转动杆的中部沿其轴向设置有中空空腔，芯轴穿过中空空腔设置，且与转动杆转动配合，芯轴通过传动组件与活动磁块连接，活动磁块可滑动地安装于安装圆板，芯轴用于受驱相对于转动杆转动，以通过传动组件带动活动磁块沿安装圆板的径向滑动，从而调节活动磁块与安装圆板的相对位置。本发明提供的磁极机构能够实现磁场分布的快速调节，提高溅射镀膜的均匀性，保证产品质量。
本发明授权一种磁极机构以及磁控溅射装置在权利要求书中公布了：1.一种磁极机构，其特征在于，包括基台、驱动组件、转动杆、芯轴、安装圆板、传动组件和活动磁块，所述转动杆可转动地安装于所述基台，且穿过所述基台设置，所述转动杆的一端与所述驱动组件连接，另一端与所述安装圆板连接，所述转动杆的中部沿其轴向设置有中空空腔，所述芯轴穿过所述中空空腔设置，且与所述转动杆转动配合，所述芯轴通过所述传动组件与所述活动磁块连接，所述活动磁块可滑动地安装于所述安装圆板，所述芯轴用于受驱相对于所述转动杆转动，以通过所述传动组件带动所述活动磁块沿所述安装圆板的径向滑动，从而调节所述活动磁块与所述安装圆板的相对位置； 所述传动组件包括凸轮和连杆，所述芯轴与所述凸轮连接，所述连杆的一端与所述凸轮转动连接，另一端与所述活动磁块转动连接，所述安装圆板沿其径向开设有滑槽，所述活动磁块可滑动地设置于所述滑槽内。
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