苏州美图半导体技术有限公司王云翔获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州美图半导体技术有限公司申请的专利晶圆烘胶用全自动烘箱获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223980731U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423323973.7，技术领域涉及：B05D3/02；该实用新型晶圆烘胶用全自动烘箱是由王云翔;马冬月;段仲伟;姚园设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆烘胶用全自动烘箱在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆烘胶用全自动烘箱，包括组合使用的FFU装置、SMIF装置、机械手装置、热板装置、冷板装置、寻边器装置，及机壳上的一体式排风系统，在主控的集中化控制下，与内部升降可调结构配合，目的在于优化晶圆烘烤工艺、设定多种工作流程以提升烘烤效率。本实用新型在热板装置、冷板装置侧边均配备有调平件；热板装置的热板外壳内设置有竖直往复运动的顶针组，以及带动顶针组的升降机构；本实用新型通过可拆卸式的外壳结构实现易拆装的目的；通过设置升降机构，满足不同高度烘烤条件的需要；从而达到整机内部结构内部结构灵活多变、区域位置可变，装置支持叠增式调整的特点。
本实用新型晶圆烘胶用全自动烘箱在权利要求书中公布了：1.一种晶圆烘胶用全自动烘箱，包括烘箱本体1、内置于烘箱本体1内工作平台上的热板装置2、冷板装置3，其特征在于：所述热板装置2、冷板装置3均配备有调平件4；热板装置2包括热板外壳201，热板外壳201内设置有竖直往复运动的顶针组，以及带动顶针组的升降机构5， 所述升降机构5包括： 升降动力源503，与热板外壳201的相对位置恒定， 滑轨507，与热板外壳201的相对位置恒定， 连接组件，被升降动力源503推动，沿滑轨507往复滑移， 顶针组被连接组件带动，由升降动力源503驱动滑移；滑移过程中保持水平状态。
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