深圳市新凯来工业机器有限公司徐水获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利组合分离台及组合分离设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223987357U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520627788.2,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型组合分离台及组合分离设备是由徐水;刘银桥;贾怀远设计研发完成,并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本组合分离台及组合分离设备在说明书摘要公布了:本公开的实施例提供了一种组合分离台及组合分离设备,涉及半导体技术领域,用于提高掩膜板的镀层的厚度的均一性。该组合分离台包括固定板、多个第一支撑结构、多个第二支撑结构。第一支撑结构包括第一支撑件和第一调节件。多个第一支撑件配置为支撑托盘;第一调节件被配置为调节第一支撑件和固定板之间的夹角。第二支撑结构包括第二支撑件和第二调节件。多个第二支撑件配置为支撑掩膜板;掩膜板位于托盘远离固定板的一侧,且与托盘具有间隙;第二支撑件和第一支撑件间隔设置;第二调节件与固定板和或第二支撑件连接;第二调节件被配置为调节第二支撑件和固定板之间的夹角。上述组合分离台用于支撑掩膜板。
本实用新型组合分离台及组合分离设备在权利要求书中公布了:1.一种组合分离台,其特征在于,包括: 固定板; 多个第一支撑结构,沿所述固定板的周向间隔设置;所述第一支撑结构包括: 第一支撑件,位于所述固定板沿第一方向的一侧;所述第一方向与所述固定板交叉;多个所述第一支撑件配置为支撑托盘; 第一调节件,与所述固定板和或所述第一支撑件连接;所述第一调节件被配置为调节所述第一支撑件和所述固定板之间的夹角; 多个第二支撑结构,沿所述固定板的周向间隔设置;所述第二支撑结构包括: 第二支撑件,位于所述固定板靠近所述第一支撑件的一侧;多个所述第二支撑件配置为支撑掩膜板;所述掩膜板位于所述托盘远离所述固定板的一侧,且与所述托盘具有间隙;所述第二支撑件和所述第一支撑件间隔设置; 第二调节件,与所述固定板和或所述第二支撑件连接;所述第二调节件被配置为调节所述第二支撑件和所述固定板之间的夹角。
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