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三星电子株式会社;株式会社ADEKA朴圭熙获国家专利权

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龙图腾网获悉三星电子株式会社;株式会社ADEKA申请的专利铝化合物以及使用其制造半导体器件的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111362979B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910983502.3,技术领域涉及:C07F5/06;该发明授权铝化合物以及使用其制造半导体器件的方法是由朴圭熙;小出幸宜;真锅芳树;木村将之;斋藤昭夫;林载顺;曹仑廷设计研发完成,并于2019-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。

铝化合物以及使用其制造半导体器件的方法在说明书摘要公布了:提供了铝化合物以及使用该铝化合物制造半导体器件的方法。所述铝化合物可以由式1表示。[式1]

本发明授权铝化合物以及使用其制造半导体器件的方法在权利要求书中公布了:1.一种由式1表示的铝化合物: [式1] 其中,在式1中,R1和R2中的一个是二甲基氨基,另一个是Cl,Z是N-R7,R3是氢,R4和R7各自独立地是选自由甲基、乙基和异丙基组成的组中的任一种,以及R5和R6各自独立地是选自由甲基和乙基组成的组中的任一种。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人三星电子株式会社;株式会社ADEKA,其通讯地址为:韩国京畿道;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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