朗姆研究公司丹尼尔·布赖恩获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利处理晶片的设备以及控制该设备的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113330546B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080010780.1，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权处理晶片的设备以及控制该设备的方法是由丹尼尔·布赖恩;普拉迪普·蒂鲁格纳南;马蒂亚·波尼克瓦尔;阿洛伊斯·戈勒设计研发完成，并于2020-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本处理晶片的设备以及控制该设备的方法在说明书摘要公布了：一种用于处理晶片的设备，其包含：可旋转卡盘，其用于接收晶片；加热组件，包含发光加热组件的阵列，该发光加热组件的阵列经设置以照射由该可旋转卡盘所接收的晶片而加热该晶片；以及一或更多个光传感器，其被配置成检测由该发光加热组件的阵列所发出的光。
本发明授权处理晶片的设备以及控制该设备的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于处理晶片的设备，所述设备包含： 可旋转卡盘，其用于接收晶片； 加热组件，其包含发光加热组件的阵列，所述发光加热组件的阵列被配置成照射由所述可旋转卡盘所接收的晶片而加热所述晶片，其中，当所述晶片由所述可旋转卡盘接收时，所述发光加热组件的阵列被布置为照射所述晶片的第一表面，其中，所述第一表面位于与所述晶片的第二表面相反的一侧，并且其中，当所述晶片由所述可旋转卡盘接收时，所述第二表面被暴露以进行处理； 液体分配器，其被布置为将液体分配到所述晶片的所述第二表面上；以及 一或更多个光传感器，其被配置成检测由所述发光加热组件的阵列所发出的光并且被配置为输出与所述发光加热组件的阵列发出的所述光的强度相关的信号， 其中 所述一或更多个光传感器包括相对于所述发光加热组件的阵列而设置的光传感器，并且当所述晶片被所述可旋转卡盘接收时，对照所述发光加热组件的阵列，所述光传感器被布置成位于所述晶片的相反侧上。
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