三星显示有限公司林用賱获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利被检测体的平坦度测量装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113358039B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110244239.3,技术领域涉及:G01B11/06;该发明授权被检测体的平坦度测量装置是由林用賱设计研发完成,并于2021-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本被检测体的平坦度测量装置在说明书摘要公布了:提供一种被检测体的平坦度测量装置,包括:激光光源,配置在所述被检测体的上部并且产生具有从所述被检测体能够被反射的波长的激光;标准具干涉仪,配置在所述被检测体与所述激光光源之间,并且将所述激光变换成照射到所述被检测体的激光阵列;以及分析部,配置在所述被检测体的上部,并且利用从所述被检测体反射的激光阵列来测量所述被检测体的平坦度。因此,可精密地测量如玻璃基板这样的被检测体的平坦度,由此可通过玻璃基板的平坦度的补偿来降低显示装置的工序不良。
本发明授权被检测体的平坦度测量装置在权利要求书中公布了:1.一种被检测体的平坦度测量装置,包括: 激光光源,配置在所述被检测体的上部并且产生具有从所述被检测体能够被反射的波长的激光; 标准具干涉仪,配置在所述被检测体与所述激光光源之间,并且将所述激光变换成照射到所述被检测体的激光阵列; 分束器,配置在所述标准具干涉仪与所述被检测体之间;以及 分析部,配置在所述被检测体的上部,并且利用从所述被检测体反射的激光阵列来测量所述被检测体的平坦度, 其中所述激光阵列垂直地入射到所述被检测体的上部面, 所述激光光源配置在第二垂直方向上并沿着所述第二垂直方向产生所述激光,其中,第一垂直方向垂直地经过所述被检测体,并且所述第二垂直方向在平面上的其他位置处与所述第一垂直方向平行, 所述分束器将所述激光阵列从所述第二垂直方向引导到所述第一垂直方向。
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