精工爱普生株式会社小仓诚一郎获国家专利权
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龙图腾网获悉精工爱普生株式会社申请的专利振动元件的制造方法、振动元件以及振动器件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113872550B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110725865.4，技术领域涉及：H03H3/04；该发明授权振动元件的制造方法、振动元件以及振动器件是由小仓诚一郎设计研发完成，并于2021-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本振动元件的制造方法、振动元件以及振动器件在说明书摘要公布了：提供振动元件的制造方法、振动元件以及振动器件，能够抑制驱动特性和可靠性降低。振动元件的制造方法包括：准备工序，准备振动元件，该振动元件具有基部、振动臂以及施重膜，该振动臂具备从所述基部延伸出来的臂部以及位于所述臂部的末端侧的施重部，该施重部具有呈正反关系的第一主面和第二主面，所述施重膜配置于所述施重部的所述第一主面，所述第一主面具有平面和相对于所述平面倾斜的倾斜面；以及去除工序，对所述施重膜照射能量线而去除所述施重膜的一部分，在所述去除工序中，从所述平面的法线方向对所述施重膜照射所述能量线，不去除配置于所述倾斜面的所述施重膜，而去除配置于所述平面的所述施重膜。
本发明授权振动元件的制造方法、振动元件以及振动器件在权利要求书中公布了：1.一种振动元件的制造方法，其特征在于，包括： 准备工序，准备振动元件，该振动元件具有基部、振动臂以及施重膜，该振动臂具备从所述基部和连接于所述基部的连结臂中的至少一方延伸出来的臂部以及位于所述臂部的末端侧的施重部，该施重部具有呈正反关系的第一主面和第二主面，所述施重膜配置于所述施重部的所述第一主面，所述第一主面具有第一平面、相对于所述第一平面倾斜的倾斜面、以及第二平面，该第二平面经由所述倾斜面与所述第一平面连接，所述第二平面比所述第一平面靠所述第二主面侧，与所述第一平面平行；以及 去除工序，对所述施重膜照射能量线而去除所述施重膜的一部分， 在所述去除工序中，从所述第一平面的法线方向对所述施重膜照射所述能量线，不去除配置于所述倾斜面的所述施重膜，而至少去除配置于所述第一平面的所述施重膜。
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