细美事有限公司朴美昭获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113921422B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110785638.0，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置及基板处理方法是由朴美昭;李龙熙;尹堵铉设计研发完成，并于2021-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明构思提供了一种基板处理装置及基板处理方法。具体地，提供了一种用于通过使用超临界流体处理基板的装置和方法。在一实施方案中，该装置可以包括：工艺腔室，该工艺腔室提供处理空间并且包括增加处理空间的内部温度的腔室加热器；基板支承件，该基板支承件提供在处理空间中并且支承基板；以及基板加热构件，该基板加热构件在接触基板的下表面的情况下加热基板的下表面。
本发明授权基板处理装置及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种用于通过使用超临界流体处理基板的装置，所述装置包括： 工艺腔室，所述工艺腔室配置为提供处理空间、并且包括配置为增加所述处理空间的内部温度的腔室加热器； 基板支承件，所述基板支承件提供在所述处理空间中、并且配置为支承所述基板；以及 基板加热构件，所述基板加热构件配置为在接触所述基板的下表面的情况下加热所述基板的所述下表面， 所述基板加热构件将所述基板加热到防干燥液体与所述基板的表面反应时表现出莱顿弗罗斯特效应的温度， 所述装置还包括： 第一供应端口，所述第一供应端口连接到第一供应管路，所述第一供应管路配置为将处理液体供应到所述工艺腔室的所述处理空间的、位于所述基板的下部的部分， 其中，所述基板加热构件被设置在所述第一供应端口与所述基板支承件之间，并且阻止所述超临界流体从所述第一供应端口直接喷射到所述基板。
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